Gebraucht MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIR #9169499 zu verkaufen
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ID: 9169499
Wafergröße: 8"-12"
SWIR Inspection system, 8"-12"
Defect detection review for SWIR
Fully automated
Single cassette 8” wafer loader
Unloader with 4 axis robot
Pre-aligner
Wafer cassette mapping
Under / Over OCR cameras
Objectives: 5x, 10x, 20x, 50x
Camera sensor in-GaAs: 900nm - 1700nm sensitivity
Inspection applications:
For in-process, post-process and failure analysis
Bonded wafer alignment
Die alignment (flip-chip or hybridization)
Subsurface defect visualization, detection, characterization
MEMS Device inspection and metrology
3D Stacking process development and control
Integrated CD / dimensional metrology functions
Features:
Extensive defect detection features and capability
Integrated dimensional metrology features
Sub micron-precision optical measurements
High-accuracy staging to 20 nm linear encoder resolution
Highest resolution: 900-1700 nm in GaAs digital camera in class
High-speed linear servo motor staging
50-500 Defects / measurement / second per field of view
Multiple wafer / die / part handling systems
Application-specific customization software
Semi standard S2/S8 compliant.
MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIR ist ein Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das eine hochpräzise automatisierte Fehlererkennung, Klassifizierung und Kartierung für alle einfallenden Schichten einer Maske oder eines Wafers bietet. Mit den zerstörungsfreien Techniken von Near Infrared (NIR) ist es in der Lage, Defekte bei einer Unterwellenlänge von 0,13 Mikrometern zu erkennen. Die integrierte NIR-Technologie beleuchtet Proben mit einer Reihe von NIR-Licht, das dann von einem spezialisierten ladungsgekoppelten Gerät (CCD) analysiert wird, um Fehlersignaturen zu erkennen und zu lokalisieren. DDR-300 NIR-System bietet einen kompletten Satz von Wafer-Inspektionsmöglichkeiten, einschließlich automatischer Erkennung und Charakterisierung für Wafer-Defekte, Elektromigration, Prozessintegration und CD-Messung. Es bietet auch eine vollständige Softwareintegration mit der Focalpoint Suite von MCBAIN, die Waferinspektions-, Integrations- und Bildverarbeitungsfunktionen für eine feinere Bildauflösung bietet. Neben der Fehlererkennung bietet MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIR auch umfassende messtechnische Funktionen wie Oberflächenanalyse, Overlay, BDQ (Bias Dependent Quantum-Leap) -Korrektur und vieles mehr. DDR-300 NIR bietet flexible Konfigurationsoptionen wie eine präzise mehrachsige Stufe, die höchste Präzision bietet. Es kommt auch mit einer Reihe von Detektor- und Bildgebungsoptionen, einschließlich: Pixel-Pitch-In-Fokus- und Off-Focus-Detektoren, Multi-Kamera-Bildgebungsoptionen für eine erhöhte Fehlerabdeckung und modernste Software-Algorithmen. Es verfügt außerdem über eine Bereichs- und Zeilenabtaststufe für maximale Fehlerabdeckung. MCBAIN SYSTEMS DDR-300 NIR bietet zudem eine benutzerfreundliche Bedienung. Es integriert ein QWERTY-Membran-Touch-Pad und ein 16-Zoll-LCD-Farbmonitor bietet eine klare Sichtbarkeit von Fehleranalysen. Die Bequemlichkeit der Benutzeroberfläche reduziert die Ermüdung des Benutzers und ermöglicht es Benutzern, Fehler leicht zu erkennen und zu lokalisieren, auch auf schwer erreichbaren Bereichen der Oberfläche. Insgesamt ist DDR-300 NIR ein zuverlässiges System, das über vollständige und zuverlässige zerstörungsfreie Techniken verfügt, um Waferdefekte mit 0,13 Mikrometer Auflösung und umfassender Fähigkeit zur Fehlererkennung, Charakterisierung und Kartierung zu identifizieren. Es ist ideal für die Herstellung hochwertiger und zuverlässiger Produkte, die den Kundenanforderungen und Industriestandards entsprechen.
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