Gebraucht METRICON 2010/M #80299 zu verkaufen
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ID: 80299
Prism Coupler
Prism
Laser: 635nm
Dell Optiplex PC: 2GB RAM, 250GB hard disk, 16X DVD-ROM, 19" LCD monitor, Windows7
Compatible with XP/Vista/7 with a serial interface box
2010-NSW-1550: provides operation at additional wavelength of 1550 nm
Options: (1) or (2) TM Option for laser(s).
METRICON 2010/M Mask and Wafer Inspection Equipment ist ein automatisiertes, hochpräzises optisches Inspektions- und Messwerkzeug zur kritischen Herstellung integrierter Schaltungen. Das System vereint drei spezialisierte Instrumente in einer integrierten Einheit, die zur Inspektion und Messung von Masken- und Wafermaterialien verwendet werden. Dies ermöglicht die Auswertung von Waferfunktionen durch automatisierte Visualisierung, flexible Test- und Pass/Fail-Klassifizierung. METRICON 2010/M besteht aus einer XY-Stufe zur Wafer-Defektprüfung und zwei optischen Instrumenten zur Messung von Maskenformen und Konturen. Die XY-Bühne steuert eine zweidimensionale Scanplattform, mit der die Maschine sowohl Ober- als auch Querschnittsbilder der Maske oder des Wafers aufnehmen kann. Zu den optischen Instrumenten gehören ein Streuungsmesser, mit dem die optischen Streueigenschaften von Masken gemessen werden, sowie ein Rasterelektronenmikroskop (SEM). Das SEM wird verwendet, um die Struktur und Eigenschaften von Masken zu analysieren und hochauflösende Bilder bereitzustellen, die gut für die 3D-Bildgebung geeignet sind. Neben diesen beiden Instrumenten enthält METRICON 2010/M Werkzeug auch eine 3D-Bühne, mit der sich die Höhe und Form von Masken oder Wafern messen lassen. Dazu wird ein Laserstrahl verwendet, der die Oberfläche abtastet und zur Konstruktion eines 3D-Bildes des betreffenden Objekts dient. Schließlich umfasst METRICON 2010/M Asset auch eine Reihe von Softwarekomponenten, mit denen der Workflow der Datenerfassung zur Analyse automatisiert wird. Die Software umfasst statistische Modelle, die eine schnelle Analyse der Daten ermöglichen, und ein Data-Mining-Modul zum Extrahieren von Informationen aus dem großen Datenvolumen, das für den Inspektionsprozess erfasst wurde. METRICON 2010/M Modell ist ein leistungsstarkes Werkzeug für Masken- und Wafer-Inspektionen und bietet hohe Präzision und Genauigkeit bei der Bewertung von Merkmalen. Mit diesen Werkzeugen können im Vergleich zu manuellen Prüfverfahren kürzere Prüfzykluszeiten und eine verbesserte Wirtschaftlichkeit erreicht werden. Die Geräte werden von führenden Halbleiterunternehmen bei der Herstellung integrierter Schaltungen sowohl zur Qualitätskontrolle als auch zur Prozessüberwachung eingesetzt.
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