Gebraucht MICROMETRIC IMS88M-AL #9256098 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9256098
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2005
Optical CD and overlay measurement system, 6"
Measurement process: Automatic from cassette to cassette
Does not include flat pre-aligner
3 Axis:
Motorized X, Y and Z
Robot autoloader and pre-aligner
Auto focus
Auto illumination
Pattern recognition and vision-based measurements
Measurement specifications:
Overlay patterns
Box-in-box
Multi-bar patterns
L-Patterns
Overlay measurement accuracy (TIS): <0.010 um
Overlay measurement repeatability (3σ): <0.010 um
Line width measurement accuracy: 0.010 Micron
Line width measurement repeatability (3σ): 0.006 Micron
Motorized X,Y positioning stage
X,Y Stage travel: 8" x 8"
X,Y Stage velocity: 200 mm/sec
X,Y Positioning accuracy (Per axis): 2.0 microns over full travel
X,Y-Positioning resolution: 0.01 micron
Z Stage travel: 0.1" (2.5 mm)
Z-Positioning resolution: 0.01 micron
Robotic wafer loader and pre-aligner: 4"-8" Wafers
Dual cassettes
Loader / Unloader
Industrial rack-mounted computer
CPU Pentium IV 2.4 GHz
Hard Disk Drive (HDD): 100 GB
CD-ROM Drive
Ethernet communication
VGA Display
Keyboard and mouse
Operating system: Windows 2000
Computer vision system
CCD Camera
Frame grabber board
Microscope optical system:
High precision line width measurement
Vertical illuminator
Parfocal objectives: 10x BF and 100x BF
Monocular photo-tube with CCTV adapter
Computer controlled Illumination system
With 125 quartz-halogen lamp and fiber bundle
Glass-scale linear encoders
Resolution: 0.01 micron
Point-to-point measurements:
Edge detection
Intersections
Center lines
Circle centers and centroids
Option:
X-Y Grid plate calibration
7" x 7" With 140 mm x 140 mm grid
Temperature controlled chamber
Temperature controlled range: ±0.25°C
2005 vintage.
MICROMETRIC IMS88M-AL Mask and Wafer Inspection Equipment bietet ein zuverlässiges, automatisiertes System zur Erkennung von Markierungs- und/oder Waferdefekten. Dieses Gerät ist mit einem zweiköpfigen optischen Mikroskop mit langer Arbeitsstrecke ausgestattet, das die Beobachtung großer Proben ermöglicht. Das optische Mikroskop kann für verschiedene Bildgrößen angepasst werden, so dass der Benutzer alles von kleinen Halbleitersubstraten bis hin zu größeren optischen und photovoltaischen Geräten inspizieren kann. Die Maschine enthält mehrere weitere Komponenten und Hardware, die sowohl bei der Inspektion als auch bei der Analyse helfen können. Ein automatisierter Fokusmotor sorgt für eine präzise und schnelle Einstellung des untersuchten Wafers. Der Motor hat eine Auflösung von weniger als zwei Mikrometern und ermöglicht eine genaue Abtastung des Wafers. Eine digitale Bildaufnahmekamera erhöht die Genauigkeit des Inspektionsprozesses mit einer sehr niedrigen Pixelgröße und bis zu 28 Bildern pro Sekunde, um alle Fehler zu erfassen. Das Werkzeug ist weiter mit einem Laserwerkzeug ausgestattet, das Merkmale bis zum Nanometerstand messen kann. Dies wird mit einer sehr hohen Genauigkeit kombiniert und ist somit ideal für Projekte, die Genauigkeit und Präzision erfordern. Das Modell enthält auch eine Vielzahl von Software, die den Inspektionsprozess weiter verbessern. Dazu gehören eine Vielzahl von Bildverarbeitungsverfahren wie optische Zeichenerkennung (OCR), Mustererkennung, statistische Verfahren und viele andere Bildanalysemethoden. Diese können zur schnellen Identifizierung und Klassifizierung von Defekten, Kontaminationsbereichen oder anderen interessanten Merkmalen verwendet werden. Die Software bietet auch leistungsstarke Datenvisualisierungs- und Analysefunktionen, um den Zustand der Maske oder Wafer-Probe zu bewerten. Das Gerät ist in der Lage, eine Vielzahl von nützlichen Ausgängen zu generieren, einschließlich Bilder, Inspektionskarten, Messungen und Erkennungsergebnisse. Die grafische Benutzeroberfläche ermöglicht es dem Benutzer auch, das System schnell und einfach einzurichten und für eine Vielzahl von Aufgaben zu programmieren. Damit eignet sich das Gerät ideal für eine schnelle und einfache Inspektion und Analyse verschiedener Materialarten. IMS88M-AL bietet eine zuverlässige und effektive Möglichkeit, Markierungs- und/oder Waferfehler mit niedrigen Betriebskosten zu erkennen. Mit seiner robusten Konstruktion, zuverlässiger Hardware und leistungsstarker Begleitsoftware ist diese Maschine ideal für schnelle und genaue Inspektions- und Analyseaufgaben.
Es liegen noch keine Bewertungen vor