Gebraucht MIT Linearflex 822 #9234972 zu verkaufen
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MIT Linearflex 822 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur automatisierten, zerstörungsfreien Auswertung integrierter Schaltungen (ICs) entwickelt wurde. Das System besteht aus einem kombinierten optischen und Rasterelektronenmikroskop (SEM) sowie fortschrittlichen Software-Tools, die den Inspektionsprozess automatisieren. Die Optikeinheit enthält eine Objektivlinse mit unterer Beleuchtung, die eine scharfe Echtzeit-Bildaufnahme der Waferoberfläche ermöglicht. Mit der Rasterelektronenmikroskopie (Rasterelektronenmikroskopie, SEM) können Submikron-Merkmale auf sehr hohem Detailniveau abgebildet werden. Hochauflösende Bilder können in mehreren Kanälen als Phased-Array-Bildgebung aufgenommen werden, so dass sowohl Oberflächen- als auch Untergrundeigenschaften des ICs überprüft werden können. Linearflex 822 verfügt zudem über leistungsstarke Bildanalysefunktionen, die eine automatisierte Inspektion von Wafern in allen Phasen des IC-Konstruktions- und Fertigungsprozesses ermöglichen. Fortgeschrittene Bildverarbeitungsalgorithmen sind in der Lage, Defekte sowohl auf makroskopischer als auch auf mikroskopischer Ebene zu identifizieren, einschließlich Partikel- und Partikelcluster, Knoten, Gruben, Kratzer und andere Kontaminationen. Darüber hinaus umfasst die Maschine eine Reihe von Wafer-Inspektionswerkzeugen zur umfassenden Erkennung einer ganzen Reihe von lithographischen Druckfehlern. Die Suite ist kompatibel mit einer Reihe von branchenüblichen Lithographieverfahren, einschließlich Step-and-Scan (i-Line-Stepper oder DUV-Scanner), Double-Patterning und Photomasken-Verarbeitung. Die Software ist auch in der Lage Fremdkörper und Wafer Schälen oder Verziehen zu erkennen. In Kombination mit den Bilderfassungssystemen bietet die automatisierte Inspektionssoftware eine umfassende Überprüfung und Messung von IC-Layouts und -Prozessen. Damit können Prozessfehler erkannt, Kontaminationsquellen lokalisiert und die Prozessleistung optimiert werden. Die integrierte Werkzeugsoftware soll Ausfallzeiten minimieren und die Leistung optimieren. Die Software ist sehr erweiterbar und kann programmiert werden, um Wafer-Test- und Reparaturprozesse zu ermöglichen. Es ist in der Lage, große Datensätze mit Hochgeschwindigkeitsdatenströmen aus der Hardware zu handhaben. MIT Linearflex 822 ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektion, die entwickelt wurde, um die IC-Produktion zu optimieren und den Durchsatz zu erhöhen. Es kombiniert hochauflösende Bildgebung mit anspruchsvollen Software-Tools, um eine zuverlässige, automatisierte Inspektion von ICs sowohl auf makroskopischer als auch auf mikroskopischer Ebene zu ermöglichen. Mit seiner robusten Konstruktion und umfassenden Werkzeugen ist das Modell gut für IC-Konstruktions- und Fertigungsanwendungen geeignet.
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