Gebraucht MKS GLM-2000 #9073496 zu verkaufen
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ID: 9073496
Minority Carrier Lifetime Monitor
Measurements:
Gtau (lifetime)
Photoconductance Rise (PCR)
Photoconductance Decay (PCD)
Sheet Resistance
Gtau Lifetime Measurement Range: 0.2-15,000 microsecond (µsec) equivalence
PCR and PCD Measurement Range: 5-15,000 µsec
Sheet Resistance Range: 1 5-1000 Ohm o
Within Specification Temperature: 18º - 28°C ambient
Substrate Size: 2”, 3”, 4”, 6” diameter, 156 x 156 mm
LED Light Source2: Near Infrared (940 nm) or Green (527 nm)
Sensor Measurement Area: 940mm2, spatially averaged illumination
Substrate Thickness: <1.1 mm (<2.0 mm with tray removed)
Power: 110-240 VAC, 50/60 Hz.
MKS GLM-2000 ist eine leistungsstarke Masken- und Waferinspektionsanlage zur Erkennung von Herstellungsfehlern. Das Inspektionssystem bietet eine automatisierte Fehlerinspektion für Photomasken, Flachbildschirme und MEMS-Geräte. Die Inspektionseinheit ist mit einer hochauflösenden optischen Maschine, fortschrittlichen Beleuchtungstechniken und einem einzigartigen Betrachtungswerkzeug ausgestattet, mit dem sie selbst feinste Oberflächenunregelmäßigkeiten erkennen kann. GLM-2000 wurde entwickelt, um eine breite Palette von Inspektionsanwendungen zu unterstützen, einschließlich dielektrischer Messung, kritischer Dimensionsprüfung, globaler Ausrichtung und Überprüfung von Konstruktionsregeln/Maskenregeln. MKS GLM-2000 ist mit einer fortschrittlichen View-Technologie ausgestattet, die es dem Asset ermöglicht, schnell auf obskure Funktionen in einem Muster zuzugreifen oder Fehler mit hohem Kontrast oder Auflösung zu erkennen. Die in GLM-2000 verwendeten Scanstufen sind in der Lage, Hochgeschwindigkeitsbewegungen und eine hohe Genauigkeit zu positionieren, was eine genaue und zuverlässige Fehlerinspektion ermöglicht. Das Modell bietet eine Reihe verschiedener Detektionstechniken, wie Multifokus-, 3D-dipole und Multiwinkel-Lichtreflexion. Das Gerät verfügt auch über leistungsstarke Bildverarbeitungsalgorithmen für erweiterte Kantenerkennung, Funktionsmessung und Bildvergleich. MKS GLM-2000 ist in der Lage, bis zu 10 Masken und Wafer in einem einzigen Zyklus zu inspizieren. Das System ist hochgradig konfigurierbar und kann auf die Anforderungen unterschiedlichster Fertigungsprozesse zugeschnitten werden. GLM-2000 ist darauf ausgelegt, die Anforderungen der Hersteller zu erfüllen, die in Massenmengen produzieren und hohe Volumenkontrollen erfordern. Das Gerät hat eine geringe Störungsrate, die sicherstellt, dass die Maschine immer zuverlässig und genau ist. MKS GLM-2000 ist ein benutzerfreundliches und effizientes Inspektionswerkzeug. Die intuitive Benutzeroberfläche und die grafische Benutzeroberfläche machen es einfach zu bedienen. Die Prüfanlage entspricht einer Vielzahl von Industriestandards, darunter CD-SEMI, J-STD und IEC-60950. Das Modell wurde entwickelt, um eine effiziente und zuverlässige Fehlererkennung in einer Vielzahl von Branchen zu ermöglichen, einschließlich Herstellung, Bildgebung und Messtechnik. GLM-2000 ist eine kostengünstige Inspektionsausrüstung, die unschlagbare Genauigkeit und Durchsatz bietet.
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