Gebraucht NANOMETRICS 7000-033895 #9242378 zu verkaufen
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ID: 9242378
Weinlese: 2011
Integrated metrology OCD / Film analysis system
2011 vintage.
NANOMETRICS 7000-033895 'Mask & Wafer Inspection' -Ausrüstung ist ein hochleistungsfähiges optisches Inspektionswerkzeug, das bei der Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Es wurde entwickelt, um eine schnelle und genaue bildbasierte Analyse der Kontaktschichtfunktionen für Retikel oder Masken und Wafer zu ermöglichen. Das System umfasst die Großrechner-, Bühnen- und Optikeinheit. Der Mainframe ist eine multifunktionale Arbeitstier-Plattform, die Bühne, Optoelektronik, Präzisionsbewegungssteuerungssysteme und Benutzeroberfläche beherbergt. Der Mainframe wurde entwickelt, um eine zuverlässige und effiziente Nutzung mit einer breiten Palette von Bilderfassungs- und Analysefunktionen zu ermöglichen. Die Bühne ist eine präzise Luftlagerplattform, die mit einer Kombination aus Encoder-Technologie und linearen optischen Encodern präzise und reibungslos auf den x- und y-Achsen positioniert werden kann. Es ist auch mit einer Präzisionsmotor-Maschine gebaut, die eine präzise Positionierung des Mask & Wafer Substrats ermöglicht. Das optische Werkzeug wurde entwickelt, um hochauflösende Bilder (bis zu 22 Millionen Pixel) von Kontaktschichten auf Substraten bereitzustellen. Die gesamte Anlage ist in einer nicht reflektierenden schwarzen Umgebung untergebracht, was eine höhere Präzision bei minimalen optischen Reflexionen ermöglicht. Die Optik enthält auch mehrere Hochleistungslaser und Superlinsen zur Beleuchtung der Masken und Wafer. Die präzise Positionierung dieser Komponenten verbessert die Leistung des Modells erheblich. Die Bordsoftware ermöglicht die automatische Erkennung von Kontaktschichtmerkmalen mit hoher Genauigkeit. Darüber hinaus unterstützt die Software objektorientierte Messungen und computergestützte Designsoftware (CAD), die es dem Anwender ermöglicht, eine Vielzahl von Kontaktmerkmalen auf einem einzigen Substrat mit einem einzigen Bild zu analysieren und zu platzieren. Mit diesem Maß an Genauigkeit können Berechnungen, Konstruktionssimulationen und Auswertungen erreicht werden. Schließlich entspricht die Ausrüstung den meisten Industriestandards und ist in der Lage, Kontaktmerkmale auf 20 nm zu überprüfen, was kleiner ist als eine Wellenlänge von sichtbarem Licht. Dies ist für die Herstellung fortgeschrittener integrierter Schaltungen unglaublich vorteilhaft. Dieses System verwendet die besten verfügbaren Komponenten und Softwarefunktionen, um robuste und konsistente Ergebnisse mit hoher Genauigkeit zu liefern und ist somit das ideale Werkzeug für jede Kontaktschichtinspektion.
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