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NANOMETRICS Caliper Elan
ID: 9378705
Overlay metrology system.
NANOMETRICS Caliper Elan ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die produktionstechnische Musterinspektion verwendet wird. Es wurde entwickelt, um Muster auf einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Retikeln, Maskenfehlern, Waferdefekten, Leiterplatten und nanoskaligen Lithographiefehlern, schnell und genau zu erkennen. Das System bietet eine breite Palette von Muster- und Fehlererkennungsfähigkeiten und kann verwendet werden, um potenzielle Probleme in verschiedenen Produktionsprozessen schnell zu identifizieren. Das Gerät nutzt fortschrittliche Optik-, Bildgebungs- und elektrische Sensortechnologien, um Zielbereiche präzise zu scannen, abzubilden und zu inspizieren. Die Optik in der Maschine verwendet Laserbeleuchtung, LED-Beleuchtung und Wellenleitertechniken, um eine genaue Fehlererkennung und Bildgebung zu gewährleisten. Das bildgebende Werkzeug besteht aus mehreren Kameras, die ein breites Sichtfeld bieten, so dass das Asset extrem detaillierte Bilder in hohen Auflösungen aufnehmen kann. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, mit automatisierten optischen Messtechniken Mustereigenschaften, Linienbreiten, kritische Dimmungen und andere Schlüsselparameter zu messen. Auf der elektrischen Seite des Gerätes verwendet es eine Vielzahl von elektrischen Sensortechniken, um elektrische Probleme in der Produktion zu erkennen, wie offene und Kurzschlussfehler, und ist auch in der Lage, allgemeine elektrische Eigenschaften wie Leckstrom zu bestimmen. Das System kombiniert diese unterschiedlichen Sensortechnologien mit fortschrittlichen Mustererkennungsalgorithmen, um Muster auf den Zielsubstraten zu analysieren. Dadurch kann das Gerät potenzielle Maskenfehler, Waferdefekte oder andere prozessbedingte Probleme schnell erkennen. Schließlich ist die Maschine in der Lage, Hochgeschwindigkeitsergebnisse in einer Vielzahl von Formaten bereitzustellen, einschließlich Messtechnik und Farbmapping. Caliper Elan bietet auch eine Vielzahl von Software- und Hardwareoptionen, sodass Benutzer das Tool auf ihre Bedürfnisse abstimmen können. Durch die Kombination der besten bildgebenden und elektrischen Techniken liefert NANOMETRICS Caliper Elan hochgenaue, detaillierte Informationen über Zielmuster. Dies macht es zu einer idealen Wahl für produktionstaugliche Musterinspektionen.
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