Gebraucht NANOMETRICS Caliper Elan #9390468 zu verkaufen

NANOMETRICS Caliper Elan
ID: 9390468
Overlay metrology system.
NANOMETRICS Caliper Elan ist eine zuverlässige und robuste Plattform für die Masken- und Waferinspektion. Es kombiniert hohe Genauigkeit Messtechnik und 3D-Bildgebung Fähigkeiten, um die höchste Qualität Masken und Wafer zu gewährleisten. Das Gerät nutzt fortschrittliche Bildgebungstechnologie, um Fehlerstrukturen zu analysieren und Waferausrichtungsoperationen schnell und präzise durchzuführen. Caliper Elan wurde entwickelt, um Defekte an Masken und Wafern mit hoher Auflösung effizient zu finden und zu klassifizieren. Es verfügt über ein hochauflösendes Bildaufnahmesystem, eine Hochgeschwindigkeitsstufe und einen erweiterten Bildgebungsalgorithmus zur Erkennung und Klassifizierung von Fehlern. Das Gerät ist in der Lage, Bilder mit 2,5 Mikron Auflösung zu erfassen. Darüber hinaus hat es die Fähigkeit, mehrere Bilder jedes Wafers zu erfassen und gleichzeitig zu analysieren, was einen schnelleren und effizienteren Inspektionsprozess ermöglicht. Die Maschine bietet auch eine Vielzahl von Fehlercharakterisierungen und -analysen. Es kann Partikel, Gruben, kurze Hosen, Partikel in Mustern, Defekte von Unterfüllung, Linienshorts und Line-to-Line-Kontakten sowie Strukturen hoher Dichte klassifizieren. Darüber hinaus bietet es 3D-Charakterisierungen und Messfähigkeiten, um jede Art von Defekt leicht zu erkennen, die die Qualität der Maske oder des Wafers beeinflussen kann. NANOMETRICS Caliper Elan verfügt auch über ein automatisiertes Wafer-Ausrichtungs- und Positionswerkzeug, das für eine genaue und wiederholbare Ausrichtung zwischen den verschiedenen Wafern ausgelegt ist. Dieses Merkmal eignet sich besonders für große Scheiben und Platten, da eine präzise Ausrichtung unerlässlich ist, insbesondere um eine genaue Fehlerinspektion zu gewährleisten. Das Asset ermöglicht die Ausrichtung der Wafer in der X-Y-Ebene oder entlang der vertikalen Z-Achse mit Winkelgenauigkeit und Wiederholbarkeit innerhalb von +/- 3 Bogenminuten. Caliper Elan ist vollständig in die NANOMETRICS-Fertigungsanlagen integriert und ermöglicht eine nahtlose Verbindung mit anderen Waferbearbeitungsgeräten, Datenerfassungs- und Ausrichtungssystemen. Darüber hinaus bietet es eine grafische Benutzeroberfläche, die die Navigation und Nutzung des Modells vereinfacht. Insgesamt ist NANOMETRICS Caliper Elan eine All-in-One-Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die hochauflösende Bildgebungs- und Defektcharakterisierungsfunktionen bietet und hochwertige Masken und Wafer gewährleistet. Es ist sehr zuverlässig, robust und widmet sich der Verbesserung der Genauigkeit und Effizienz des Inspektionsprozesses.
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