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NANOMETRICS Caliper Mosaic
ID: 9378724
Overlay control system.
NANOMETRICS Caliper Mosaic ist ein leistungsstarkes Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das extrem genaue kritische Abmessungen und physikalische Fehlererkennung für die Mikroelektronik-Fertigungsindustrie bietet. Es verwendet modernste optische und Lasermesstechnik, um den Durchsatz sowie die Qualitätskontrolle für jeden Schritt in der Wafer- und Maskenproduktion zu optimieren. Caliper Mosaic verwendet ein modernes optisches Design und eine Laserscantechnologie, um das Profil von Maskenstufen, Substratschritten, Überlagerungsfehlern und Bildqualitätsparametern genau zu messen. Das System verwendet die Wellenlängen von sichtbarem oder nahem infrarotem Licht, um sowohl die Oberflächen- als auch die Unterflächenmerkmale des Wafers oder der Maske zu erfassen und subtile Defekte und Nichtkonformitäten schnell zu erkennen. Das aufgenommene Bild wird dann mittels Technologie wie Dunkelfeldmikroskopie, Interferenzmikroskopie oder einer Kombination beider analysiert. NANOMETRICS Caliper Mosaic ist in der Lage, eine Vielzahl von physikalischen Eigenschaften zu analysieren und zu messen, einschließlich Linien und Räume, kritische Dimensionen, Filmstapeldicke, Resistabdeckung, Overlay-Fehler, kritische Flächenberechnungen und Oberflächenrauhigkeit. Es kann auch Fehler wie Gruben, Kratzer, Delaminationen, Verunreinigungen und Flecken sowohl auf der Oberfläche als auch unter der Oberfläche des Wafers oder der Maske erkennen und messen. Das System bietet auch eine Vielzahl von Funktionen, die es zu einer idealen Lösung für die Serienproduktion machen. Es kann mit mehreren führenden Maskenausrichtern, Steppern und Druckern integriert werden, so dass es für Hersteller in einer Vielzahl von Branchen leicht verfügbar ist. Caliper Mosaic ist hochautomatisiert, wobei alle Einstellungen und Monitore über eine Touchscreen-Schnittstelle gesteuert werden. Es enthält auch mehrere Schichten von Sicherheitsprotokollen zum Schutz vor unbefugtem Personenzugriff. NANOMETRICS Caliper Mosaic ist ein unglaublich zuverlässiges Werkzeug, um die Qualität und Zuverlässigkeit der Herstellung von Produkten für die ständig wachsende Mikroelektronik-Industrie zu gewährleisten. Seine präzise und präzise gesteuerte Konstruktion, seine automatisierten Funktionen und seine Interoperabilität mit wichtigen Geräten und Geräten machen es zu einer idealen Wahl, um eine hohe Fehlererkennung zu gewährleisten.
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