Gebraucht NANOMETRICS Caliper Mosaic #9384480 zu verkaufen

ID: 9384480
Wafergröße: 12"
Overlay control system, 12" EFEM Module BROOKS Razor robot Does not include load port.
NANOMETRICS Caliper Mosaic ist eine flexible, integrierte und leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die von NANOMETRICS entwickelt wurde, um eine fortschrittliche Prozesskontrolle zu unterstützen und die Ausbeute in der Halbleiterindustrie zu verbessern. Das System verfügt über eine optimierte Kombination aus automatisierten optischen Inspektions- und Bildverarbeitungsfunktionen sowie eine Reihe von Software-Tools zur Unterstützung des Bildmanagements und der Fehleranalyse. Dadurch kann das Gerät Fehler zuverlässig erkennen und klassifizieren. Bildsensoren, die von der Maschine verwendet werden, bieten schnelle, geräuscharme Auslesungen sowohl in der Phasenposition als auch in Übertragungsbildern. Binäre Bilder des Wafers werden erstellt und mit kundenspezifischen Masken- und Produktbildern verglichen, so dass Funktionen mit einer Größe von bis zu 3 Nanometern erkannt werden können. Das Inspektionswerkzeug verfügt über ein Dual-Beam Confocal Scanning Microscope (DCSM) mit außergewöhnlichen Tiefenschärfe- und hochauflösenden bildgebenden Funktionen, die eine präzise Erkennung und Charakterisierung von Fehlern ermöglichen. Die Inspektionsanlage nutzt eine vierachsige Scanstufe, die ein Hochgeschwindigkeits-Scannen mit einer Genauigkeit von 250 Nanometern in der X-Y-Ebene ermöglicht. Die Bildverarbeitungssoftware des Modells enthält Algorithmen, die sehr schwache Merkmale wie Kratzer, Partikel und Defekte auf der Waferoberfläche erkennen können, sowie Algorithmen zur Klassifizierung von Merkmalen und Fehlern, um verschiedene Arten von Defekten zu unterscheiden. Darüber hinaus bietet das Gerät eine leistungsstarke, benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, die das Design, die Einstellung und das Ausführen von Inspektionsaufträgen vereinfacht und gleichzeitig eine automatisierte detaillierte Analyse und Charakterisierung von Fehlerbildern ermöglicht, sodass Benutzer Ertrags- und Verarbeitungsprobleme schnell genau diagnostizieren und lösen können. Schließlich trägt die Kombination von hochauflösender Bildgebung, automatisierter Bildverarbeitung und intuitiver Software von Caliper Mosaic dazu bei, dass die Qualitätskontrolle und die Ertragsanforderungen der Kunden erfüllt werden.
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