Gebraucht NANOMETRICS M-5000 #9159251 zu verkaufen
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ID: 9159251
Wafergröße: 6"
Thin film thickness measurement system, 6"
Operating system: DOS.
NANOMETRICS M-5000 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für Serienumgebungen. Dieses automatisierte System liefert präzise Messungen sowohl der Fehlertopographie als auch der Merkmalsmessungen für Wafergeometrien. Das Gerät verwendet fortschrittliche Bildgebungstechnologie, um detaillierte Bilder des Wafers zu erfassen, und einen schnellen Laser-Scan-Kopf zur Abbildung der Fehler über große Bereiche. NANOMETRICS M5000 verwendet einen oszillierenden Y-Achsen-Mechanismus und eine Hochgeschwindigkeits-X-Achsen-Stufe/-spiegel und ist in der Lage, einen einzelnen Wafer in einem Durchgang ohne Unterbrechung zu scannen. Dies ermöglicht verkürzte Durchlaufzeiten mit überlegener Genauigkeit. Die hochintegrierte Messtechnik-Maschine bietet sowohl Dunkelfeld als auch Hellfeld-Bildgebung für die 2D- und 3D-Bildaufnahme, was eine außergewöhnliche Defektcharakterisierung und Wafer-Messtechnik ermöglicht. M-5000 nimmt ausgefeilte Algorithmen an, um die Bilder zu analysieren, und berechnet dann eine Vielzahl von Fehlerparametern. Ein integriertes Software-Tool unterstützt die schnelle und genaue Messung von Abmessungen, Abständen und Winkeln von Komponenten sowie Kantenplotting, Scoring und ebenenbasierter Farbkontrast. Die vom Inspektionsposten erhobenen Daten werden in einer umfassenden grafischen Benutzeroberfläche angezeigt, was eine signifikante Verbesserung der Fehlersichtbarkeit ermöglicht. Mit seiner hochauflösenden Kamera und integrierten Messwerkzeugen hat sich gezeigt, dass M5000 die Fertigungsprozesse der Kunden verbessert. Darüber hinaus umfasst NANOMETRICS M-5000 eine Reihe automatisierter Kalibrierungs- und Validierungsverfahren, die für Reinraum- und Nichtreinraumformen von Wafern sowie ein- und mehrzonige konturierte/nicht konturierte Waferoberflächen konfiguriert werden können. Darüber hinaus ermöglichen die erweiterten bildgebenden Fähigkeiten von NANOMETRICS M5000 Modell es, Fehler wie Fackeln und abgeschrägte Fehler in kleineren Geräten zu überwachen. Die intuitive Navigations- und Kontrollausrüstung reduziert die Zeit der Fehlerinspektion und erhöht gleichzeitig die Genauigkeit der Fehlererkennung. Dieses System hilft auch bei der Fehlerberichterstattung, indem es PDF oder tabellarische Berichte generiert. Insgesamt ist M-5000 eine fortschrittliche Metrologie-Einheit, die für die Serienproduktion in der Halbleiterindustrie entwickelt und hergestellt wurde und detaillierte Fehlertopographie und Funktionen zur Messung bietet. Die Maschine ist hoch fortgeschritten und bietet erheblichen Durchsatz und Genauigkeitsvorteile, die für Produktions- und Fertigungsprozesse äußerst wertvoll sind.
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