Gebraucht NANOMETRICS M6100A #9165235 zu verkaufen
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NANOMETRICS M6100A ist eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es wird verwendet, um mögliche Fehler in Schaltungen und Komponenten zu erkennen, die die Leistung des Endprodukts beeinflussen können. M6100A bietet mehrere erweiterte Funktionen, um seine Leistung und Genauigkeit zu verbessern. Ein automatisiertes optisches Inspektionssystem mit einer Weitwinkel-CCD-Kamera, lnPs (Laser-Reflected Pattern Recognition Processor) und einer Off-Axis-Beleuchtungsoptik bietet eine überlegene Abbildung des photolithographischen Musters. Dieses Gerät ist in der Lage, Wafer mit Auflösungen bis zu 50 Nanometer zu inspizieren. Zur Belichtung sehr kleiner vordefinierter Bereiche innerhalb des photolithographischen Musters steht auch ein Mehrzonen-Hochenergielaser zur Verfügung. Eine ultrahochauflösende Bildgebungsmaschine erleichtert die Überprüfung von Defekten und die Genauigkeit des photolithographischen Musters. NANOMETRICS M6100A ist mit einer hochpräzisen Stufe ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung von Wafern bei Inspektion und Wafer-Handling ermöglicht. Das Werkzeug kann Wafer bis 200 mm Durchmesser aufnehmen und ist mit allen führenden Wafer-Bearbeitungsrahmen kompatibel. M6100A bietet mehrere weitere Funktionen, um seine Leistung zu verbessern. Eine integrierte schwingungsarme Workstation ermöglicht die Analyse kleiner Strukturen mit minimaler Störung durch äußere Schwingungen. Zur schnellen Reinigung der Oberfläche des Wafers vor der Inspektion steht eine Stickstoffplasma-Waschvorrichtung zur Verfügung. Eine integrierte digitale Datenerfassung ermöglicht es Benutzern, Messergebnisse zu visualisieren und zu speichern. Insgesamt ist NANOMETRICS M6100A ein leistungsstarkes, leistungsstarkes Masken- und Wafer-Inspektionsmodell, das für den Einsatz in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es bietet überlegene Bildgebungsfunktionen, hochauflösende Inspektion und präzise Wafer-Handhabungsfunktionen. Das robuste Design und die Eigenschaften machen M6100A zu einer idealen Lösung für die qualitätsorientierte Produktion von Hochleistungselektronikkomponenten.
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