Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec 3000 #9220802 zu verkaufen
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ID: 9220802
Wafergröße: 3"-6"
Weinlese: 2001
Film thickness measurement system, 3"-6"
Solid stage linear diode array detector
(15) Standard film types
Measurement time: 0.25 s to 4 s / site
Data management:
Statistical data analysis
Data export (ASCII)
Hardware configuration:
Optics: 10x
Spot size: 25 μm
Computer: 333 MHz PC With 3.2 G hard dive, 64 RAM
Performance:
Film: (3) Layers
Film thickness range: 250 A to 35 µm
Wavelength range: 480-800 nm
Reproducibility: <2 A
Electrical power:
Lamphouse: 50 W
117±5% VAC, 50/60 Hz, 5 A
230 V, 50/60 Hz, 2.5 A
2001 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 3000 ist eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die fortschrittliche Technologien zur Bereitstellung hochwertiger Bildgebung und einer Vielzahl von Fehlererkennungsfunktionen umfasst. NanoSpec 3000 nutzt vier Kanäle, um eine Vielzahl von hochauflösenden Bildern zu sammeln, wobei CMOS-Technologie und High-End-Optik für exzellente Auflösung und Kontrast verwendet werden. Die vier Kanäle sind für die Musterinspektion, Nahinfrarot (NIR) für CD-Messung und Overlay-Inspektion, Violett (Vis) für 2D-Kanten- und Wafer-Shape-Scanning und UV für die 3D-Topographie-Analyse sichtbar. Diese Kanäle arbeiten zusammen, um dem Benutzer umfassende Informationen sowohl über die aufgenommenen Bilder als auch über die vorhandenen Mängel zu liefern. Das System beinhaltet eine integrierte Vollfeldsuchmaschine, die die Inspektionszeit beschleunigt und Trends bei defektivierten Bildern sichtbarer macht. NANOMETRICS NanoSpec 3000 enthält außerdem eine umfangreiche Bibliothek mit Mustermasken und Wafern, die einen schnellen Aufbau und Vergleich ermöglicht, und einen leistungsstarken Defektmanager, um potenzielle Fehler mit erwarteten Geräteparametern zu vergleichen und Nutzern wertvolle Fehlerinformationen zu liefern. NanoSpec 3000 verfügt auch über erweiterte Automatisierungsfunktionen, die mehrstufige Waferhaltung, 360-Grad-Wafer-Scanning und hochpräzise Nadelausrichtung umfassen. Mit diesen fortschrittlichen Funktionen ist NANOMETRICS NanoSpec 3000 in der Lage, eine schnelle, genaue und wiederholbare Inspektion auch unter sich ändernden Produktionsbedingungen anzubieten. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer erweiterten Software-Suite ausgestattet, mit der Benutzer den gesamten Workflow steuern, Messungen bearbeiten und die Testbilder und -daten analysieren können. Um Zuverlässigkeit zu gewährleisten, ist die NanoSpec 3000 für eine breite Palette von Wafersubstraten und -dicken optimiert und die Maschine ist auf alle anwendbaren Sicherheitsstandards ausgelegt. Mit der zuverlässigen Leistung und konsistenten Genauigkeit können sich Anwender auf NANOMETRICS NanoSpec 3000 verlassen, um herausragende Ergebnisse bei der Wafer- und Maskenprüfung zu erzielen.
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