Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec 4150 #9069402 zu verkaufen
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ID: 9069402
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Wafer measurement, up to 8", 1998 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 4150 ist eine Hochleistungs-Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die eine überlegene Genauigkeit und Geschwindigkeit für die Inspektion und Analyse von Masken und Wafern bietet. Die NanoSpec 4150 verfügt über ein Hybrid-Scansystem bestehend aus einem patentierten Scankopf, einer Weitwinkelabtastlinse und einer Gasentladungsröhre (GDT) zur räumlichen Verbesserung der Kontrastauflösung. Der Scankopf bietet eine präzise Steuerung des Laserstrahls, so dass jedes Sichtfeld mit maximaler Präzision abgetastet werden kann. Darüber hinaus bieten die Weitwinkel-Scan-Linse und GDT einen größeren Bildkontrast und mehr Details als andere Scan-Systeme, was zu genaueren Analysen führt. NANOMETRICS NanoSpec 4150 wurde entwickelt, um hochflexibel und anpassungsfähig zu sein, mit der Fähigkeit, sowohl Masken- als auch Wafersubstrate schnell zu scannen und Ergebnisse in Echtzeit zu liefern. Eine integrierte Softwareeinheit ermöglicht eine schnelle und einfache Bedienung und umfasst eine Vielzahl von Tools und Algorithmen zur Masken- und Waferanalyse. Die Maschine kann auch in Metrologie, Fehleranalyse, E-Strahl und andere Systeme integriert werden, was eine umfassende Charakterisierung des Halbleiterprozesses ermöglicht. NanoSpec 4150 verfügt über eine beeindruckende Reihe von Erkennungs- und Analysefähigkeiten, wie automatische Versetzungen, Aerosolerkennung, Fehlererkennung, Sichtlinieninspektion und andere fortschrittliche Bildgebungstechniken. Diese Merkmale werden durch eine Reihe anderer Funktionalitäten ergänzt, einschließlich Farb- und Graustufenbildgebung sowie quantitative Messungen der Flächendeckung, Korngröße, Linienrauhigkeit, Partikelanzahl und anderer Parameter. NANOMETRICS NanoSpec 4150 bietet neben seinen fortschrittlichen Bildgebungs- und Analysefähigkeiten auch Messtechnik zur kritischen Dimensionierung und Charakterisierung von Wafern. Das Messtechnik-Tool kann eine Vielzahl von Parametern genau messen, einschließlich Schaltungsleitungsbreiten, Zeilenabstand und andere relevante Merkmale. Insgesamt ist NanoSpec 4150 eine leistungsstarke, schnelle und hochgenaue Masken- und Wafer-Inspektion. Die Kombination aus fortschrittlicher Scan- und Bildgebungstechnologie, leistungsstarker Software und umfassenden Analysefähigkeiten machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug zur Charakterisierung und zum Verständnis von Halbleiterprozessen.
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