Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec 6100X #9223292 zu verkaufen
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ID: 9223292
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Film thickness measurement system, 8"
1999 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 6100X ist eine führende Masken- und Halbleiter-Wafer-Inspektionsanlage, die auf die sich entwickelnden Bedürfnisse der Halbleiterindustrie ausgerichtet ist. Es verfügt über eine Kombination aus Hochleistungs-Bildverarbeitung, Bildverarbeitung und Analysefunktionen und bietet ultimative Genauigkeit bei der Wafer- und Maskenauswertung. Mit NanoSpec 6100X können Anwender aus einer Vielzahl von Inspektionsfunktionen auswählen, darunter Qualitätskontrolle, Geometrieprüfungen und Lichtspektroskopie. Bei der Qualitätskontrolle kann die NanoSpec eine Vielzahl subtiler Defekte einschließlich aller gängigen Halbleiterprozessunregelmäßigkeiten erkennen. Geometrische Inspektionen wurden mit neuen Funktionen wie Formerkennung, Eckmapping und Linienbreitenmessungen aktualisiert. NANOMETRICS NanoSpec 6100X verfügt über verbesserte Lichtspektroskopie-Fähigkeiten zur Messung dünner und dicker Filme mit hoher Präzision. NanoSpec 6100X verfügt über ein hochauflösendes Hochgeschwindigkeits-Bildgebungssystem. Dies ermöglicht es Benutzern, Fehler mit schnellen Erfassungs- und Bildgebungszeiten genau zu erkennen. Die hochauflösenden Kameras ermöglichen eingehende Analysen auch kleinster Merkmale und Defekte. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Bildverarbeitungsfunktionen, die es Anwendern ermöglichen, subtile Fehler zu identifizieren und sie für eine detaillierte Inspektion zu visualisieren. NANOMETRICS NanoSpec 6100X unterstützt eine breite Palette von Probentypen, darunter Photomasken, optische Mikrolithographie, Photoresists und andere Industriestandard-Substrate. Die Maschine ist auch mit automatisierten Betriebs- und Datenexport-Funktionen konzipiert und bietet Anwendern einen verbesserten Durchsatz und effizienten Betrieb. Für optimale Leistung nutzt NanoSpec 6100X eine Auswahl an spezialisiertem Zubehör. Dieses Zubehör umfasst optionale Polarisierung, Filterräder, Stufen- und Objektivmotorisierung sowie Robotik zur Automatisierung von Musterwechseln. Dieses Zubehör ermöglicht es Benutzern, das Werkzeug an ihre jeweiligen Bedürfnisse anzupassen und die resultierende Analyse auf die jeweilige Aufgabe abzustimmen. Darüber hinaus bietet die Software, die das Asset begleitet, dem Benutzer erweiterte SEM-Kompatibilität, Automatisierungsfunktionen, Exportfunktionen und Analysen der Daten nach der Verarbeitung. Zusammenfassend ist NANOMETRICS NanoSpec 6100X ein leistungsstarkes, vielseitiges Masken- und Wafer-Inspektionsmodell, das den höchsten Standards in der Halbleiterindustrie entspricht. Die Kombination aus hochauflösender Bildverarbeitung, Bildverarbeitung und Analyse macht es zur idealen Wahl für Halbleiteranalyse und Prozessinspektion.
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