Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec 9100 #293699943 zu verkaufen
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ID: 293699943
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
Film thickness measurement system, 8"
PC Missing
2003 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec 9100 ist eine hochpräzise Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es bietet optische und elektrische Analyse von einschichtigen und mehrschichtig strukturierten Strukturen auf Halbleiterbauelementen, einschließlich Transistoren, Metallschichten und Widerständen, mit Auflösungen der Merkmalsgröße unter 10 nm. NanoSpec 9100 ist ein umfassendes System, das Informationen wie Größe, Form, Gleichmäßigkeit, Kontakt, Tiefe und Ebenheit auf einer Vielzahl von Substraten erfassen kann. Das Gerät verfügt über eine selbstausrichtende Kamera, die optische und elektrische Daten von der Substratoberfläche ohne manuelle Anpassung genau erfassen kann und eine schnelle und effiziente Abbildung von gemusterten oder unbearbeiteten Proben ermöglicht. Die Optik ist speziell für hochauflösende Arbeiten konzipiert und verfügt über Innovationen wie Phasenmessmikroskopie (PMM), hochempfindliche optische Elementdetektion (HSOED) und Paralleldetektionsbeleuchtung (PDI). Zusammen bieten diese Systeme Bilder mit extremer Auflösung, Genauigkeit und Wiederholbarkeit sowie fortschrittliche Bildgebungstechniken zur Visualisierung winziger Fehler und Variationen in der Probe. Für die elektrische Inspektion umfasst NANOMETRICS NanoSpec 9100 eine CCD-On-Chip-Messtechnik (CCOM), die C-V-Messungen, Trägergenerationsmapping und Signalanalyse kombiniert. Dieses Werkzeug ist in der Lage, elektrische Signale aus dem Wafer mit einer Auflösung von unter 50 nm zu erfassen, was eine optimierte Verpackung von hochdimensionalen Daten für präzise Messungen ermöglicht. Neben den CCOM- und Optiksystemen umfasst NanoSpec 9100 erweiterte Nachbearbeitungsfunktionen wie automatische Datenfilterung, Kantenerkennung und Erkennungsalgorithmen, um die Genauigkeit und Geschwindigkeit der Inspektion zu verbessern. Darüber hinaus ist das Asset einfach zu bedienen, mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI) für die Datenerfassung und -analyse. NANOMETRICS NanoSpec 9100 ist ein vielseitiges und zuverlässiges Modell für den Einsatz in Labor- und Industrieumgebungen. Seine Genauigkeit, Wiederholbarkeit und hochauflösende Bildgebungsfunktionen machen es zu einem leistungsstarken Werkzeug zur Überwachung und Verbesserung der Genauigkeit bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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