Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec AFT 180 #19931 zu verkaufen
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ID: 19931
Wafergröße: 4", 5"
Thin film measurement system
Microspectro photometer head
Wavelength range: 480-790 nm
Measures from 400A to 40,000A.
NANOMETRICS NanoSpec AFT 180 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die fortschrittliche Luftbildaufnahmen und automatisierte Fehlerüberprüfungsfunktionen bietet. Das System nutzt die Licht- und Dunkelfeld-Bildgebung sowie die automatisierte Fehlerklassifizierung, um Waferdefekte mit einer Größe von 90nm schnell zu erkennen und zu melden. Die NanoSpec AFT 180 bietet zudem eine vollständige Automatisierung und Rückverfolgbarkeit des Inspektionsprozesses und ermöglicht so eine einfache und effiziente Qualitätssicherung. Die bildgebenden Funktionen von NANOMETRICS NanoSpec AFT 180 basieren auf einer patentierten Scantechnik, die eine schnelle Inspektion ermöglicht. Der Sensor fegt den Wafer in horizontaler und vertikaler Richtung und sammelt mehrere Bilder von jedem Bereich des Wafers mit hoher Geschwindigkeit. Dieser Prozess hilft, die gesamte Inspektionszeit zu reduzieren und gleichzeitig eine qualitativ hochwertige Bildgebung und genaue Fehlererkennung zu gewährleisten. Das Gerät ist mit zwei separaten optischen Sensoren ausgestattet, die zur Erkennung von Luftverunreinigungen verwendet werden. Mit Hilfe von Infrarot- und sichtbaren Lichtsensoren kann NanoSpec AFT 180 alle Partikel erkennen, die sich auf der Oberfläche des Wafers befinden können, wie Staub, Schmutz oder andere Defekte. Dadurch wird sichergestellt, dass potenzielle Kontaminationsquellen schnell und genau identifiziert und gemeldet werden. Neben seinen bildgebenden Funktionen bietet NANOMETRICS NanoSpec AFT 180 auch eine automatisierte Fehlerüberprüfung. Mit dieser Funktion können Mängel automatisch klassifiziert und einem Schweregrad zugeordnet werden, um sicherzustellen, dass eine weitere Prüfung nur ausgestellt wird, die tatsächlich ein Risiko für Ertrag oder Leistung darstellen kann. Die Maschine ist auch mit einem fortschrittlichen Softwarepaket ausgestattet, das es dem Bediener ermöglicht, die Ergebnisse des Inspektionsprozesses schnell und einfach zu überprüfen und zu analysieren. Insgesamt ist NanoSpec AFT 180 ein leistungsstarkes Wafer-Inspektionswerkzeug, das zuverlässige Bildgebung, automatisierte Fehlerüberprüfung und vollständige Rückverfolgbarkeit des Inspektionsprozesses bietet. Diese Anlage ermöglicht es Herstellern, Waferdefekte und luftgetragene Verunreinigungen schnell und genau zu erkennen und gleichzeitig eine effiziente Qualitätssicherung zu gewährleisten.
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