Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 #9043965 zu verkaufen

NANOMETRICS NanoSpec AFT 210 ist eine automatisierte 100X Masken- und Waferinspektionsanlage, die in der Halbleiterindustrie zur Erkennung physikalischer und elektrischer Defekte eingesetzt wird. Das System hilft bei der Erkennung und Identifizierung von Defekten durch beugungsbasierte Streuungsmethoden und Elektronenstrahl-Nanopatterien. Die NanoSpec verfügt über eine Hochgeschwindigkeits-Sichteinheit und einen physikmodellbasierten Defekterkennungs- und Klassifizierungsmotor. Diese Kombination von Funktionen bietet hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit in schneller Scan-Zeit. Die NanoSpec ist auch in der Lage, Linienbreiten bis sub-50 Nanometer (nm) zu messen. Darüber hinaus kann die Maschine verschiedene Arten von Defekten wie Lithographie, Dotierung, Beschichtung und Ätzen unterscheiden. Die NanoSpec nutzt reflektierende und Dunkelfeldbeleuchtung, die eine Vielzahl von Inspektionskonfigurationen ermöglicht. Das Tool basiert auf einem ultraschnellen bildgebenden Asset, um Informationen in Nanosekunden zu erfassen, und einem bildverarbeitenden Modell, das für eine effiziente Mustererkennung entwickelt wurde. Das Gerät kann Defekte bis zu 110 nm erkennen, einschließlich derjenigen, die durch fortschrittliche lithographische Techniken wie Pitch-geteilte Linien und Dual-Tone-Layouts erstellt wurden. Das System bietet auch automatisierte Auftragsprogrammierung, Prozesssteuerung und Pass/Fail-Analyse. Es ist in der Lage, großvolumige simultane Wafer- und Maskeninspektionen durchzuführen und kann in viele Front-End-Prozessleitsysteme integriert werden. Das Gerät ist auch mit einem Lasermikroskop ausgestattet, um Mikrostrukturen und Kontaminationen zu identifizieren und zu untersuchen. Die Fehlerinspektionsgenauigkeit der NanoSpec beträgt 0,2 Mikrometer für alle Arten von Defekten. Zusätzlich bietet die Maschine eine Abtastrate von 100 Prozent, die die Identifizierung aller an einem Wafer oder einer Maske vorhandenen Mängel garantiert. Alle Werkzeugdaten werden zur weiteren Analyse und Prozessauswertung in der unternehmenseigenen Datenbank gespeichert. Das Asset ist auch mit den meisten wichtigen Softwareprogrammen zur Datenmanipulation und Inspektionsauswertung kompatibel. Die NanoSpec ist ein kostengünstiges Instrument, das bei der Erkennung und Verringerung von Defekten hilft und gleichzeitig das Werkzeug zur Prozessverbesserung optimiert. Mit seiner intuitiven und benutzerfreundlichen Oberfläche können Kunden schnell Einstellungen konfigurieren, die entsprechenden Kriterien für die Fehlererkennung auswählen und detaillierte Inspektionsberichte erstellen. Darüber hinaus reduziert das Hochgeschwindigkeits-Scanning des Modells die Masken- und Wafer-Inspektionszeit - was einen erhöhten Produktionsdurchsatz bedeutet.