Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec AFT 5100 #9266970 zu verkaufen

NANOMETRICS NanoSpec AFT 5100
ID: 9266970
Film thickness measurement system.
NANOMETRICS NanoSpec AFT 5100 Mask & Wafer Inspection Equipment ist ein automatisiertes, hochauflösendes Metrologiewerkzeug für die Halbleiterherstellung. NanoSpec AFT 5100 verfügt über ein allgemeines generisches Mustererkennungssystem zur genauen und zuverlässigen Prüfung von Mustern mit qualitativen und quantitativen Fähigkeiten. Es besteht auch aus einem erweiterten Mikroskop-Optikmodul, das mehrere Muster z-Höhe und Oberflächenparameter mit der höchsten Auflösung von < 50nm genau messen kann. Automatisierte messtechnische Funktionen des Geräts ermöglichen eine Hochgeschwindigkeits- und Hochgenauigkeits-Musterinspektion mit einfachem Setup und einfacher Bedienung. Die Maschine bietet eine große Auswahl an bildgebenden Technologien, einschließlich Hellfeld, Dunkelfeld sowie polarisierte Beleuchtung, die eine verbesserte bildgebende Fähigkeit für eine Vielzahl von Sauberkeitsanwendungen ermöglichen. Es umfasst ein optimiertes Makro-/Mikrostruktur-Beleuchtungsmodul für eine Vielzahl von Strukturen Schnittstelle, was zu einer verbesserten Bildqualität und feinen Details Analyse. Darüber hinaus verfügt das Tool über einen einzigartigen Algorithmus, der Kantendetails intelligent erkennt und maskiert, um eine genaue Quantifizierung von Kratzern, Brüchen und Linienbreiten zu ermöglichen. Die Anlage ermöglicht auch eine präzise Messung von Fehlergrößen und -orten sowie eine fortschrittliche Maskenreparatur, eine Technologie zur automatischen Fehlerreparatur. Es bietet mehrfarbige Overlay-Korrekturen, um Kontrastgleichmäßigkeit in verschiedenen farbigen Bildern und 3D-optische Schnitte zu gewährleisten. NANOMETRICS NanoSpec AFT 5100 ist mit einer intuitiven und benutzerfreundlichen Software ausgestattet, mit der der Benutzer das Modell einfach steuern, Testergebnisse in Echtzeit beobachten, Messgrößen auswählen, einrichten und optimieren und Daten exportieren kann. Darüber hinaus umfasst das Gerät eine integrierte Datenbank zur Speicherung von Messdaten, auf die für eine spätere Verwendung leicht zugegriffen werden kann. Zusammenfassend ist NanoSpec AFT 5100 Mask & Wafer Inspection System ein effizientes Messtechnik-Tool für die Halbleiterherstellung, das eine einzigartige Reihe von Funktionen für die einfache und genaue Inspektion von Masken und Wafern bietet. Es bietet verschiedene bildgebende Technologien, mehrfarbige Overlay-Korrekturen und erweiterte Maskenreparaturfähigkeit für verbesserte Messgenauigkeit. Das Gerät bietet auch eine intuitive benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, so dass es einfach zu bedienen und hochpräzise messtechnische Ergebnisse zu erzielen.
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