Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec AFT #293661060 zu verkaufen

NANOMETRICS NanoSpec AFT ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für hochpräzise messtechnische Anwendungen. Das System bietet eine umfangreiche Suite von optoelektronischen Komponenten, um klare und detaillierte Bilder von komplizierten Masken- und Waferfunktionen zu liefern. Dazu integriert sie zwei Grundkomponenten: eine Laserquellen-Bildgebungseinheit und einen fortgeschrittenen Bildgebungskopf. Die Laserquellenkomponente von NANOMETRICS NANOSPEC/AFT misst Abmessungen mit Sub-Nanometer (~ 1 nm) Genauigkeit. Es verwendet eine 8-Kanal-Lasermaschine kombiniert mit Drei-Kanal-verstärkten CCD (ICCD) -Kameras. Dieses Tool ist für eine erweiterte 3D-Bildgebung geeignet und kann speziell für Fehlerkorrektur- und/oder Messanwendungen konfiguriert werden. Es unterstützt auch eine breite Palette von Mustererkennungstechniken und bietet eine präzise, genaue und hochauflösende Abbildung von Masken- und Waferfunktionen. Die bildgebende Kopfkomponente von NanoSpec AFT bietet eine hochpräzise Abbildung von Waferoberflächen und Funktionen mit einer Auflösung von 0,5 nm. Es enthält eine hochreflektierende mehrachsige hochpräzise motorisierte Bühne. Dieses Modul ermöglicht eine unglaublich präzise Steuerung der Bühne für eine optimale Ausrichtung des bildgebenden Materials auf die Waferoberfläche. Dieses Modell bietet auch eine robuste optische Isolationsausrüstung, um Störungen von Umgebungslichtquellen zu beseitigen und eine hochauflösende Bildgebung zu gewährleisten. NANOSPEC/AFT ist die umfassendste und kostengünstigste Lösung für die hochpräzise Masken- und Waferinspektion. Es ermöglicht die präzise Messung von KE-Abmessungen und die Fehlerkorrektur von Mustern einschließlich Linienbreiten und Eckenschnitten. Als solches bietet es ein unschätzbares Werkzeug zur Prozesssteuerung und Fertigungsoptimierung. Das System ist sehr zuverlässig und einfach zu bedienen, so dass es ideal für die Produktionsumgebung.