Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec AFT #293807248 zu verkaufen

NANOMETRICS NanoSpec AFT ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Das System basiert auf der VSI-Technologie (Vertical Scanning Interferometry) und bietet hochzuverlässige und wiederholbare Messungen für verschiedene Halbleiterherstellungs- und Forschungsprozesse. Zu den Hauptkomponenten der Einheit gehören eine interferometrische Einheit, eine elektrooptische Einheit und eine Steuerung. Die interferometrische Einheit verwendet die VSI-Technik, um das Oberflächenprofil der Probe - entweder eine Photomaske oder einen Wafer - mit höchster Genauigkeit zu messen. Die elektrooptische Einheit enthält die zur Auswertung der von der interferometrischen Einheit erfassten Daten notwendige Detektionsoptik und Elektronik. Der Controller dient zum Betrieb der beiden Subsysteme und zur Überwachung des Zustands und der Leistung der Probe insgesamt. NANOMETRICS NANOSPEC/AFT kombiniert die hohe Empfindlichkeit von VSI mit der Direktheit der Luftströmungstechnik (AFT), um extrem genaue Messfähigkeiten zu bieten. Die Maschine nutzt einen kontinuierlichen Luftstrom über die Probe des Sensorkopfes, der eine standardmäßige zerstörungsfreie Messtechnik der Probe in ihrer Gesamtheit ermöglicht. Die zerstörungsfreie Natur des Werkzeugs verhindert auch, dass die Probe beschädigt wird. Die Anlage hat Anwendungen nicht nur in der Halbleiterindustrie, sondern auch in Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Die fortschrittlichen Signalverarbeitungsalgorithmen ermöglichen wiederholbare und genaue Messungen verschiedener Probenattribute wie Oberflächenrauhigkeit, Linienbreite und Ebenheit. NanoSpec AFT ermöglicht auch die Messung von Vollflächenprofilen und Submikron-Merkmalen wie LER (Line Edge Roughness), Facettierung, Rauheit der Linienbreite und Tiefenvariation. Dies macht es besonders nützlich, kritische Schichtmaskenmuster und Transistor-Gate-Profile zu überprüfen. NANOSPEC/AFT ist mit einem hohen Probendurchsatz ausgelegt, der es ermöglicht, große Probenmengen in kurzer Zeit zu überprüfen. Es ist auch sehr einfach zu bedienen und kann auf spezifische Anwendungen zugeschnitten werden. Seine kompakte Größe und seine geringen Kosten machen es zu einer idealen Wahl für Halbleiterinspektions- und Forschungsanwendungen.