Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec II #293817576 zu verkaufen

NANOMETRICS NanoSpec II
ID: 293817576
Thickness measurement system.
NANOMETRICS NanoSpec II ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für eine hochgenaue, zerstörungsfreie Messtechnik zur kritischen Prozesssteuerung in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es besteht aus vier Komponenten: einem DUV-Lichtmotor, einem Detektorarm, einer 6-Achsen-Roboterstufe und einem Softwaresystem. Die Lichtmaschine von NanoSpec II verwendet eine proprietäre Lichtquelle, die speziell auf Halbleiteranwendungen zugeschnitten ist. Es bietet hohe Intensität, kurzen Impuls und schmales Lichtspektrum, um sehr detaillierte Bilder von mikroelektronischen Teilen zu erzeugen. Die Lichtquellen können in einer Vielzahl von Reflexionsmodi verwendet werden, einschließlich hellem Feld, dunklem Feld, polarisiertem Licht, schrägen und gestreichelten Monitoren. Der Detektorarm ist für die optische Abtastung des Wafers oder der Maske ausgelegt. Es kann für Waferuntersuchung, Waferinterferenz, Maskenpolarisation, Maskenvergleichsmikroskopie und Maskeninfrarotmikroskopie verwendet werden. Es kann eingestellt werden, um eine Vielzahl von Probengrößen aufzunehmen, von 0,5 Zoll bis 8 Zoll Durchmesser. Die 6-achsige Roboterstufe ermöglicht eine zuverlässige und wiederholbare Positionierung der zu untersuchenden Teile, so dass Proben schnell und präzise zwischen Prüfstationen bewegt werden können. Es ist mit einem Wafer-Handling-Tool ausgestattet, um das Laden von Wafern auf NANOMETRICS NanoSpec II zu beschleunigen. Die Softwareeinheit bietet eine automatisierte Kalibrierung der Lichtmaschine, eine automatisierte Bildaufnahme und Bildverarbeitung, eine umfassende Suite von Datenanalysetools und eine visuelle Schnittstelle für die Datenanzeige. Es verfügt über eine Virtual File Machine (VFS), so dass der Benutzer Bilder auf dem Tool verwalten und speichern. Insgesamt ist NanoSpec II eine effektive Bereicherung für die Inspektion von Masken und Wafern in der Halbleiterindustrie. Seine leichte Motor, Detektorarm, Roboter-Bühne und Software-Modell kombinieren, um eine automatisierte Ausrüstung für die Messtechnik und feine Analyse von mikroelektronischen Geräten zur Verfügung zu stellen. Das System ist auf langfristige Zuverlässigkeit ausgelegt und ist in der Lage, kritische Halbleiterbauelemente effizient, präzise und reproduzierbar zu überprüfen.
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