Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec TM 8000X #9260053 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9260053
Weinlese: 1999
Measurement system
Film stacks back / front: Poly, oxide and multilayer
Fourier Transform Infrared (FTIR) film analysis
Visible and UV reflectometer
Sophisticated modeling algorithms
Submicron precision XY table for silicon substrates: Up to 200 mm
High throughput multitasking robotics
SECS II / GEM Compliance
FTIR Module laser
Touch screen monitor
1999 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec TM 8000X ist ein modernes Masken- und Wafer-Inspektionsgerät. Es ist sowohl für Hersteller als auch für Forschung und Entwicklung in der Halbleiterindustrie konzipiert. Dieses System bietet eine Vielzahl von Werkzeugen und Funktionen, so dass es auch für die anspruchsvollsten Prüfaufgaben geeignet ist. NanoSpec TM 8000X ist für Prozesssteuerungs- und Forschungszwecke optimiert. Um optimale Abbildungsergebnisse zu erzielen, ist das Gerät mit einer Inspektionskammer mit 25,6 cm Durchmesser, 30X Objektiv und einer Lichtquelle ausgestattet. Ausgefeilte Hardware- und Softwaresteuerungskomponenten werden kombiniert, um mehrere Videoluminanzbereiche und eine Reihe von Feldeinstellungen zu erreichen, wodurch Messungen bis zu 20 μ m möglich sind. NANOMETRICS NanoSpec TM 8000X integriert die neuesten Entwicklungen in der Probenhandhabungstechnik. Es ist mit einem Wafermotorantrieb und einem Wafer-Handhabungsmechanismus versehen, um eine wiederholbare und genau zentrierte Probenplatzierung zu gewährleisten. Die XYZ-Positioniermaschine ist computergesteuert und verwendet ein lineares Positionierwerkzeug, um die Z-Position der Proben für die Bilderfassung zu simulieren. X-, Y- und Z-Stufenschritte betragen 0,1 μ m oder 0,2 μ m, wenn sie für einen extra feinen Fokus konfiguriert sind. Darüber hinaus bietet NanoSpec TM 8000X eine Vielzahl von Tools zur Bildverbesserung. Dazu gehören zweidimensionale gefilterte Subtraktionskorrektur (2D FSC), Rahmen-Mittelung, Maskenkontrastanpassung (MCA), Rauschreduktion sowie ein erweitertes Bildaufnahmeobjekt. Diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, Bildrauschen zu reduzieren und ihre Proben mit höherer Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu messen. NANOMETRICS NanoSpec TM 8000X entspricht auch verschiedenen Industrieprotokollen und Standards. Das Modell unterstützt SEMI Standard Specification E116 Particle Contamination Inspection. Die Einhaltung der Norm wird durch den integrierten automatisierten Defektklassifizierungsmotor erreicht. Durch den Einsatz von NanoSpec TM 8000X können Unternehmen sicher sein, dass jede zu inspizierende Maske oder Wafer genau und auf höchstem Niveau durchgeführt wird. Dies wird nicht nur Zeit und Geld sparen, sondern auch Unternehmen das Vertrauen geben, dass ihr Produkt die Anforderungen der Industrie erfüllt und das gewünschte Ergebnis hat.
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