Gebraucht NANOMETRICS NanoSpec VT 210 #293700335 zu verkaufen

NANOMETRICS NanoSpec VT 210
ID: 293700335
Film thickness measurement system.
NANOMETRICS NanoSpec VT 210 ist eine hochauflösende Masken- und Waferinspektionsanlage für die Halbleiterindustrie. Es bietet halbautomatische, hochgenaue Inspektion kritischer Masken und Wafer, die eine schnelle Fehlererkennung, Identifizierung und Korrektur ermöglicht. Das System ist ideal für Anwendungen in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung, Fehleranalyse und Designexzellenz. Das Gerät verfügt über einen 13,5-Zoll-Monitor und eine obere Stufe Fahrbereich von 250 mm, und bietet hochauflösende Bilder von optischen Funktionen im Extreme Ultraviolet (EUV) durch Vakuum Ultraviolett (VUV) Spektralbereich. Der VT 210 ist mit einer Reihe von speziellen Optiken ausgestattet, wie z. B. fortschrittliche UV-Optik, die die Abbildung von Merkmalsgrößen bis zu 20 nm und niedrige Dosisröntgenmikroskopie ermöglicht und bildgebende Funktionen von bis zu 10 nm Funktionsgrößen bietet. Die Maschine kann mit wiederholbaren Scans programmiert werden, und der Benutzer kann Fehler interaktiv in Echtzeit analysieren, ohne auf den Abschluss von Scans warten zu müssen. Der ultrakompakte VT 210 verfügt außerdem über eine integrierte Kamera und eine offene Architekturplattform mit einer Bibliothek von vorgewählten Parametern, die eine erweiterte Programmierung und Anpassung des Tools ermöglichen. Es kann verwendet werden, um Probleme zu diagnostizieren, Prozessänderungen auszuwerten oder Konstruktionsoptimierung durchzuführen. Darüber hinaus kann der Benutzer Inspektionsparameter für bestimmte Anwendungen anpassen und Proben ohne zusätzliche Exposition inspizieren. Für Masken- und Wafer-Anwendungen bietet der VT 210 eine automatisierte Fehlererkennung, Klassifizierung und Priorisierung. Es kann auch Fehlerbilder erfassen und speichern = schnelle Fehleranalyse und -charakterisierung ermöglichen. Um eine hohe Genauigkeit zu gewährleisten, kann der Benutzer mehrere beliebige Scanfenster auswählen und das Asset kann sogar zwischen sauberen, reparierbaren und kontaminierten/delaminierten Defekten unterscheiden. Insgesamt ist NanoSpec VT 210 ein fortschrittliches Wafer- und Maskeninspektionsmodell, das die Halbleiterherstellung, Fehleranalyse und Designexzellenz erleichtert. Neben der fortschrittlichen UV-Optik, der niedrigen Dosisröntgenmikroskopie und der interaktiven Fehleranalyse bietet der VT 210 auch eine automatisierte Fehlerexzision, Fehlerklassifizierung und Fehlerpriorisierung. Kurz gesagt, der VT 210 bietet eine detaillierte optische Inspektion und ermöglicht eine schnelle und genaue Fehlererkennung und -auflösung.
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