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NAPSON RT-70 ist ein leistungsstarkes Masken- und Waferinspektionsgerät mit fortschrittlichen Bildgebungs- und Analysewerkzeugen. Es wurde entwickelt, um präzise, wiederholbare und genaue Inspektionsergebnisse bereitzustellen, um eine genaue Fehlerüberprüfung und Diagnose zu ermöglichen. Das System kann von 4 "- und 6" -Retikeln bis zu 8 "-Wafern inspizieren und bietet 28nm-Merkmalserkennbarkeit sowie automatische Ebenheits- und zusammengesetzte Nicht-Ebenheitsmessungen. RT-70 nutzt eine fortschrittliche Architektur für mehr Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit. Zwei Kameras werden verwendet, um hochauflösende Bilder des Retikels oder Wafers mit jeder Kamera zu erfassen, die sich auf einen anderen Teil des Bildes konzentriert, um die doppelte Flächendeckungsrate zu erfahren. NAPSON RT-70 verfügt außerdem über eine Bildsammeleinheit zur verbesserten Fehlererkennung und -konsistenz. Diese Bildsammelmaschine stellt sicher, dass jeder Prüfpunkt sowohl im Dunkelfeld als auch im Hellfeld vollständig inspiziert wird. Das Tool verwendet die Advanced Defect Classification (ADC) -Technologie, um echte Fehler, Störfehler und Druckfehler zu unterscheiden. Der ADC umfasst erweiterte Fehlererkennungs- und Klassifizierungsalgorithmen, die Defekte von Rauschen unterscheiden. Es bietet sowohl eine automatisierte Kategorienidentifizierung als auch eine manuelle Eingabe in die Fehlerwarteschlange. Mit flexiblen Vergrößerungsbereichen bis zu 1000x ist das Asset in der Lage, die kleinsten Anomalien in jedem Fokusbereich zu erkennen, um ein genaues Inspektionsergebnis zu liefern. Es nutzt eine Reihe ausgeklügelter Algorithmen, um den Kontaminationsbereich vorherzusagen, Partikelgrößenmessungen bereitzustellen und Unterauflösungsfehler zu erkennen. RT-70 ist mit einer intuitiven, benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, die einen schnellen und komfortablen Zugriff auf seine leistungsstarken Funktionen ermöglicht. Es umfasst eine PC-basierte Benutzeroberfläche, die mehrsprachige Unterstützung bietet und einen einfachen Zugriff auf Einstellungen sowie eine Weboberfläche für den Fernmodellzugriff ermöglicht. Es unterstützt auch eine umfangreiche Bibliothek mit Programmiersprachen, einschließlich C++, C # und Visual Basic, die eine erweiterte Anpassung ermöglicht. Das Gerät bietet auch optionale Add-on-Pakete für zusätzliche Funktionen wie Recipe Creator, der eine automatisierte Rezept-Setup-Routine bietet, und Flexi-Reconfiguration-Software, mit der Benutzer das System schnell neu konfigurieren können. NAPSON RT-70 ist eine ideale Wahl für Masken- und Waferinspektionsanwendungen in der Halbleiter- und Solarzellenindustrie. Seine hochauflösenden Bildgebungs- und Analysefunktionen machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug zur Erkennung und Diagnose potenzieller Fehler. Durch schnelle und genaue Ergebnisse zu relativ erschwinglichen Kosten trägt RT-70 zur Steigerung der Effizienz und zur Senkung der Produktionskosten bei.
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