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NIKON AMI-3300 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die optische Mikroskopie. Es bietet ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug zur zerstörungsfreien Abbildung kritischer hochauflösender Muster auf Halbleitersubstraten wie Masken, Wafern und Retikeln. AMI-3300 verfügt über ein großes Sichtfeld (FOV) von 120 Millimetern Durchmesser, das die Erkennung und Analyse zahlreicher kleiner Mängel in Proben mit hoher Genauigkeit ermöglicht. Das System verfügt zudem über eine hochauflösende Digitalkamera und ein variables Vergrößerungsobjektiv. Diese Eigenschaften ermöglichen die Inspektion und Analyse von Mustern im Bereich von 10 Mikrometer bis 6 Mikrometer Größe. NIKON AMI-3300 ist mit einer Vielzahl von Bildgebungs- und Analysesoftware ausgestattet, einschließlich eines Kontaktmodus, eines bildgebenden Optimierungswerkzeugs und einer quantitativen Analyse-Suite. Der Kontaktmodus wird verwendet, um Bilder im interessierenden Bereich auf der API-Oberfläche zu erfassen, und das bildgebende Optimierungswerkzeug wird verwendet, um den Fokus und den Kontrast jedes Bildes anzupassen, um etwaige Fehler hervorzuheben. Die quantitative Analyse-Suite bietet präzise Messungen der Merkmalsgröße und -fläche, um die Fehlererkennung zu verbessern. AMI-3300 verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche und ist benutzerfreundlich gestaltet. Dieses Gerät ist einfach zu bedienen und zu navigieren und hilft, den Zeitaufwand für die Masken- und Waferinspektion zu minimieren. Darüber hinaus unterstützt die Maschine den manuellen oder automatisierten Betrieb und die anpassbaren Befehle umfassen Kalibrierung, Bildgebung und Datenexport. Um konsistente Bilder und Analyseergebnisse zu gewährleisten, kann NIKON AMI-3300 mit mehreren Lichtquellen konfiguriert werden, darunter eine Weißlichtquelle, eine UV-Lichtquelle und eine schräge Winkellichtquelle. Dieses Werkzeug verfügt über eine motorisierte Bühne, die das schnelle und effiziente Scannen von großflächigen Proben ermöglicht. Darüber hinaus macht es eine genähte Bildausgabe einfach, die gesamte Probe anzuzeigen, ohne die Probe selbst bewegen zu müssen. Für eine zusätzliche Kontrolle des Geräts und eine breite Palette von Funktionen können AMI-3300 in Software von Drittanbietern integriert werden, wie z. B. Fehlerzuordnung, Inspektion auf Quellebene und Fehleranalyse. Dieses Modell bietet auch On-Board-Computing sowie Datenanalyse und Visualisierung. Abschließend ist NIKON AMI-3300 eine zuverlässige und benutzerfreundliche Inspektionsanlage, die sich ideal für die optische Mikroskopie und Qualitätskontrolle mehrerer Fertigungsprozesse eignet. Dieses System verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, eine variable Vergrößerungslinse, eine motorisierte Bühne und mehrere Lichtquellen, um kleine Fehler in komplizierten Mustern genau zu erkennen. Darüber hinaus kann das Gerät mit Software von Drittanbietern integriert werden und unterstützt die Datenanalyse und Visualisierung, um detaillierte Einblicke in das Make-up der Probe zu geben.
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