Gebraucht NIKON Optistation 3 #293594406 zu verkaufen
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ID: 293594406
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Wafer inspection system, 8"
1998 vintage.
NIKON Optistation 3 ist eine umfassende Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die eine effiziente und zuverlässige Inspektion von Resists, Sputterfolien, lithographischen Prozessen und Wafern während der Halbleiterherstellung ermöglicht. Es verfügt über einen modularen Aufbau, der sowohl Inline- als auch Offline-Konfigurationen unterstützt, sowie eine breite Palette von Masken- und Wafertypen. Der Kern des NIKON OPTISTATION-3 Systems ist seine optische Hochleistungseinheit mit einem fortschrittlichen optischen Kopf und vier Abbildungsstufen. Die Optik nutzt NIKON fortschrittliche Breitband-Multisegment-LED-Beleuchtung und bis zu 5x optischen Zoom. Es ist in der Lage, bis zu 16 „x 20“ Masken- oder Wafer-Sichtfelder zu überprüfen, und kann Funktionen bis zu 0,2 μ m bei einer einzigen Belichtung erkennen. Es verfügt auch über fortschrittliche Softwaretechnologien wie schnelle Bildverarbeitung und -analyse und automatisierte Prozesskontrolle, die schnellere und genauere Inspektionen ermöglichen. Die Hochgeschwindigkeits-Bilderfassung und die 3D Spatial Image Correlation (SIC) -Technologie beseitigen falsche Positives, während die Pattern Matching Technology (PMT) für wiederholbare Ergebnisse sorgt. Optistation 3 enthält auch eine Reihe von Überprüfungs- und Protokollierungstools, die sowohl Labor- als auch Inline-Inspektionsanforderungen unterstützen. Es kann eine vergleichende Datenkorrelation über mehrere Maskenbilder sowie über mehrere Waferschichten hinweg bereitstellen. Es verfügt auch über eine integrierte Datenbank, die ein schnelles Abrufen und Speichern von Inspektionsergebnissen ermöglicht. Die Maschine entspricht den SEMI-Spezifikationen und wurde entwickelt, um die Durchlaufzeit zu verbessern und Kosten zu reduzieren. Seine breite Kompatibilität ermöglicht die Integration in andere Fabrik-Automatisierungsprozesse, wie GDSII-Dateistreaming und Design-Layout-Vergleich. Schließlich machen eine intuitive Benutzeroberfläche und eine umfassende Dokumentation OPTISTATION-3 einfach zu bedienen und zu bedienen. Zusammenfassend ist NIKON Optistation 3 ein leistungsfähiges, flexibles und zuverlässiges Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug, das überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Seine optische Ausstattung mit hoher Leistung, fortschrittliche Softwaretechnologien und eine Reihe von Überprüfungs- und Protokollierungstools ermöglichen es ihm, mehrere Anforderungen an die Halbleiterherstellung zu erfüllen. Darüber hinaus sind die Einhaltung der SEMI-Spezifikationen, die breite Kompatibilität und die benutzerfreundliche Oberfläche eine geeignete Lösung für eine Vielzahl von Anforderungen an die Masken- und Waferinspektion.
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