Gebraucht NIKON Optistation 3000 #9372005 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9372005
Wafergröße: 12"
Inspection system, 12"
NIKON L300, 12" (Brightfield / Darkfield and DIC Observation)
Non-contact wafer alignment
Standard cassette type:
FOUP
FOSB
FFO
Micro inspection:
Surface
Backside
Edge
Wafer transfer system:
High-speed
Multi-Axis robot
Reliability:
Availability: >95%
MTBF: 1500 Hours
Stage: 360° Rotation
Vacuum: -66.7 KPa / -30 Nl / min
Power supply: 200 VAC-10%, 10A, 50/60 Hz.
NIKON Optistation 3000 ist eine vollautomatische Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für die hochgenaue und durchsatzstarke Produktion der nächsten Generation von Halbleiterprodukten entwickelt wurde. Das System verfügt über eine fortschrittliche optische Abbildungseinheit mit Hochleistungsobjektiven und sowohl sichtbaren als auch infrarotempfindlichen Photosensoren. Mit einer einzigartigen Prozesssteuerungsmaschine, präziser Positionierung und automatisierten Edge-Find-Algorithmen gewährleistet Optistation 3000 eine präzise, hochgeschwindigkeitsautomatisierte Inspektion von Wafern und Masken. Im Zentrum der NIKON Optistation 3000 stehen ein präzises 3D-Scan-Tool und fortschrittliche Software-Algorithmen. Mit einer Objektivlinse mit großem Durchmesser, einem Hochleistungspositionierer und fortschrittlichen Softwareroutinen ist Optistation 3000 in der Lage, weiträumige Defekte sowie extrem kleine, lokalisierte Defekte in der Größenordnung des Nanometermaßstabs zu erkennen und zu messen. Mit 2D und 3D Edge Find, inklusive Edge Searcher, ortet NIKON Optistation 3000 automatisch die Kanten eines Wafers oder einer Maske und führt Inspektionspfade entsprechend aus. Optistation 3000 ist mit einem einzigartigen kundenspezifischen Polarisationsmodul ausgestattet, das eine präzise optische Charakterisierung, Messungen und Fehlererkennung ermöglicht. In ähnlicher Weise ist die Anlage mit einem integrierten Fokus-Tracking-Modell ausgestattet, das die Fokussierung anhand der erfassten Höhendifferenz in der Probenoberfläche ständig überwachen und einstellen kann. Die NIKON Optistation 3000 bietet zudem eine umfassende Rückverfolgbarkeit über ihre anspruchsvolle Audit-Trail-Bibliothek, in der detaillierte Inspektionsergebnisse, Produktions-, Prozess-, Bediener- und Los-ID-Informationen gespeichert und dokumentiert werden. Darüber hinaus bietet das Gerät ein optionales hochwertiges Linearitätsmesspaket zur Inspektion von Sample-Overlay-Karten sowie die Prüfung des OSML-Maskenfokuswerts. Zusammenfassend ist Optistation 3000 ein leistungsfähiges und zuverlässiges automatisiertes Masken- und Wafer-Inspektionssystem für hochgenaue Produktionsumgebungen mit hohem Durchsatz. Mit einer Objektivlinse mit großem Durchmesser, einer fortschrittlichen optischen Abbildungs- und Polarisationseinheit und einzigartigen Prozesssteuerungsalgorithmen bietet NIKON Optistation 3000 präzise und zuverlässige Leistung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor