Gebraucht NIKON OPTISTATION 7 #9234683 zu verkaufen
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ID: 9234683
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Wafer inspection system, 12"
Cassette type: FOUP 25 Wafer
Chuck materials: PEEK
Transfer robot
Optical system: BF/DF
Auto forces function
Remote operation: Magnification changer, BF/DF changer, AS, FS
Microscope stage pre-alignment accuracy:
Eccentricity: 3σ ≤ 35µm
Attitude angle: 3σ ≤ 2°
Optical system: Infinity optical
Objective lens: BF/DF Observed BD-PLM 5x, 10x, 20x, 50x, 100x
Eyepiece lens: CFUWN 10x (F.N.25)
Observation tube: Super wide field trinocular tilt observation tube UWTT
Eyepiece angle: 10° to 30°
Motorized revolving nosepiece: Quintuple for BF/DF
Microscope illumination: 12 V, 100 W Halogen lamp
Throughput:
Macro-inspection (2 Sec)
Cassette all point ≤ 6 min 30 sec
Micro-inspection (5-Points, per 1 sec) ≤ 10 min
Auto-focus:
Detective method: LED Illumination slit projection AF
Illumination source LED: Wavelength 770 nm
Observed method: BF/DF
Eyepiece lens: 10x-150x
Stage:
X-Y Stage:
Observed area, 12"
θ Rotation: Rotating angle: 3.5°
Pre-alignment type: Non-contact pre-alignment
Eccentricity: 3σ ≤ 35µm (X,Y)
Attitude angle: 3σ ≤ 2°
Arm type: Belt drive
FOUP (Load port):
ASYST FL300S3 Side loading type port
SEMI (E-15-1) Standard
Alignment load wafer
Illumination source: LED 910 nm
Detector: Photo-transistor (PT)
Eccentricity: Macro-stage ≤ ± 1.5 mm
Macro stage
Surface macro
Auto drive
Tilt angle: Infinity
Speed: ≤ 15 RPM
Angle: -90° to -120°
Special halogen lamp L1L-100
Backside macro: 15 V, 100 W Halogen lamp (Fiber illumination type)
2007 vintage.
NIKON OPTISTATION 7 ist eine hochwertige, automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für Hersteller, die hochpräzise optische Instrumente und fortschrittliche Automatisierungsfunktionen benötigen. Das System bietet hochauflösende Bildgebung und präzise Messfunktionen mit einem großen Fokus auf Fehlerinspektion, Prozessbewertung und Ertragsvorhersage. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche automatisierte Stufe zum einfachen Be- und Entladen von Proben. Es bietet eine Quad-Detektorkonfiguration - Fourier, Edge, Broadband Contour und Shading Inspection - um höchste Genauigkeit und Effizienz im Untersuchungsprozess zu gewährleisten. Es verfügt auch über eine erweiterte Software für eine effiziente Bildverarbeitung und Hochleistungsanalyse. NIKON OPTISTATION-7 verfügt über eine hohe optische Auflösung von bis zu 16 Megapixel-Kameras und eine Bildauflösung von bis zu 5133 dpi, was hochgenaue und präzise Messungen ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über ein einstellbares LED-Beleuchtungswerkzeug, mit dem sie transparente, Beugungs- und Diffusorwafer-Proben inspizieren kann. OPTISTATION 7 setzt eine Reihe benutzerfreundlicher, intuitiver Werkzeuge ein, die den Inspektionsprozess optimieren. Es ermöglicht Benutzern, Parameter wie Belichtungszeit, Lichtintensität, Fokus und mehr anzupassen, um sicherzustellen, dass jede Probe bestimmte Kriterien erfüllt. OPTISTATION-7 wartet auch minimale Ausfallzeiten mit erweiterten Wartungsoptionen und universeller ProgrammierAPI. Das Asset ist in der Lage, automatisierte Skripte auszuführen, um bis zu 4 Teile gleichzeitig zu überprüfen, und kann über eine vernetzbare Schnittstelle mit Inspektionssystemen anderer Hersteller integriert werden. NIKON OPTISTATION 7 ist ein zuverlässiges Instrument für lithographische und prozessgesteuerte Defekte, mit dem Hersteller High-End-Produkte zuverlässig auf zuverlässige Leistung prüfen können. Mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche, erweiterten Automatisierungsfunktionen und hochauflösenden Bildgebungstechniken liefert das Modell sicher zuverlässige, konsistente Ergebnisse.
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