Gebraucht NIKON OPTISTATION 7 #9234683 zu verkaufen

ID: 9234683
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Wafer inspection system, 12" Cassette type: FOUP 25 Wafer Chuck materials: PEEK Transfer robot Optical system: BF/DF Auto forces function Remote operation: Magnification changer, BF/DF changer, AS, FS Microscope stage pre-alignment accuracy: Eccentricity: 3σ ≤ 35µm Attitude angle: 3σ ≤ 2° Optical system: Infinity optical Objective lens: BF/DF Observed BD-PLM 5x, 10x, 20x, 50x, 100x Eyepiece lens: CFUWN 10x (F.N.25) Observation tube: Super wide field trinocular tilt observation tube UWTT Eyepiece angle: 10° to 30° Motorized revolving nosepiece: Quintuple for BF/DF Microscope illumination: 12 V, 100 W Halogen lamp Throughput: Macro-inspection (2 Sec) Cassette all point ≤ 6 min 30 sec Micro-inspection (5-Points, per 1 sec) ≤ 10 min Auto-focus: Detective method: LED Illumination slit projection AF Illumination source LED: Wavelength 770 nm Observed method: BF/DF Eyepiece lens: 10x-150x Stage: X-Y Stage: Observed area, 12" θ Rotation: Rotating angle: 3.5° Pre-alignment type: Non-contact pre-alignment Eccentricity: 3σ ≤ 35µm (X,Y) Attitude angle: 3σ ≤ 2° Arm type: Belt drive FOUP (Load port): ASYST FL300S3 Side loading type port SEMI (E-15-1) Standard Alignment load wafer Illumination source: LED 910 nm Detector: Photo-transistor (PT) Eccentricity: Macro-stage ≤ ± 1.5 mm Macro stage Surface macro Auto drive Tilt angle: Infinity Speed: ≤ 15 RPM Angle: -90° to -120° Special halogen lamp L1L-100 Backside macro: 15 V, 100 W Halogen lamp (Fiber illumination type) 2007 vintage.
NIKON OPTISTATION 7 ist eine hochwertige, automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für Hersteller, die hochpräzise optische Instrumente und fortschrittliche Automatisierungsfunktionen benötigen. Das System bietet hochauflösende Bildgebung und präzise Messfunktionen mit einem großen Fokus auf Fehlerinspektion, Prozessbewertung und Ertragsvorhersage. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche automatisierte Stufe zum einfachen Be- und Entladen von Proben. Es bietet eine Quad-Detektorkonfiguration - Fourier, Edge, Broadband Contour und Shading Inspection - um höchste Genauigkeit und Effizienz im Untersuchungsprozess zu gewährleisten. Es verfügt auch über eine erweiterte Software für eine effiziente Bildverarbeitung und Hochleistungsanalyse. NIKON OPTISTATION-7 verfügt über eine hohe optische Auflösung von bis zu 16 Megapixel-Kameras und eine Bildauflösung von bis zu 5133 dpi, was hochgenaue und präzise Messungen ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über ein einstellbares LED-Beleuchtungswerkzeug, mit dem sie transparente, Beugungs- und Diffusorwafer-Proben inspizieren kann. OPTISTATION 7 setzt eine Reihe benutzerfreundlicher, intuitiver Werkzeuge ein, die den Inspektionsprozess optimieren. Es ermöglicht Benutzern, Parameter wie Belichtungszeit, Lichtintensität, Fokus und mehr anzupassen, um sicherzustellen, dass jede Probe bestimmte Kriterien erfüllt. OPTISTATION-7 wartet auch minimale Ausfallzeiten mit erweiterten Wartungsoptionen und universeller ProgrammierAPI. Das Asset ist in der Lage, automatisierte Skripte auszuführen, um bis zu 4 Teile gleichzeitig zu überprüfen, und kann über eine vernetzbare Schnittstelle mit Inspektionssystemen anderer Hersteller integriert werden. NIKON OPTISTATION 7 ist ein zuverlässiges Instrument für lithographische und prozessgesteuerte Defekte, mit dem Hersteller High-End-Produkte zuverlässig auf zuverlässige Leistung prüfen können. Mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche, erweiterten Automatisierungsfunktionen und hochauflösenden Bildgebungstechniken liefert das Modell sicher zuverlässige, konsistente Ergebnisse.
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