Gebraucht NIKON Optistation VII #293592368 zu verkaufen
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ID: 293592368
Wafer defect inspection system, 12"
(2) FOUP Front end load ports
ASYST ISO Port FL300 with mapper and RF ID
ULPA Filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
Eyepieces: 10x
Objective lens: 2.5x
0.075 W.D. 8.8 mm
10x N.A. 0.300 W.D. 6.50 mm
20x N.A. 0.460 W.D. 3.10 mm
50x N.A. 0.900 W.D 0.42 mm
150x N.A. 0.900 W D.0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 W
Robot controller
Ceramic robot arm
Macro unit A:
Wafer chuck
Macro movable unit
Slider assembly
Macro unit B:
Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit
XY Stage / Chuck
XYZ Drive unit
DART Controller: Image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard / Trackball
Image capture board:
Integral technologies video card
SONY DXC- 9XX/MD Camera.
NIKON Optistation VII ist eine flexible, durchsatzstarke Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die eine schnelle und automatisierte Inspektion von Masken und Wafern ermöglicht. Dieses System bietet überlegene Genauigkeit in Bezug auf die Fehlererkennung, mit der Fähigkeit, Muster so klein wie 0,2 bis 0,8 Mikrometer zu erkennen. Es bietet auch eine breite Palette von Vielseitigkeit für die Inspektion einer Vielzahl von verschiedenen Materialien, einschließlich Photomasken, lithographische Masken, und Wafer. Die Einheit bedient das Verwenden einer hohen Geschwindigkeit xenon Röhrenblitzlichtquelle, um die Probe und eine CCD-Kamera zu beleuchten, um das Bild zu gewinnen. Die bildgebende Maschine kann Submikrondifferenzen sowie Signale weit über das sichtbare Lichtspektrum hinaus erkennen, wodurch das Werkzeug genau auf Defekte und Submikrostrukturen untersuchen kann. Das 4K-Pixel-CCD-Array ermöglicht eine extrem feine Inspektionsauflösung und verfügt über leistungsstarke Vergrößerungsfunktionen von 5x bis 2500x. Das Modell verfügt über einen großen Inspektionsbereich von 12x12 Zoll, so dass es schnell und zerstörungsfrei bis zu einem dichten Bereich des Materials abdecken kann. Seine konstante Tiefe Fokus gewährleistet hohe Genauigkeit und Konsistenz im gesamten, so dass Bilder sind durchweg scharf und klar. Darüber hinaus kann das Gerät ohne menschliche Beteiligung automatisierte Scans und Analysen ohne Unterbrechung durchführen. Darüber hinaus verfügt Optistation VII über eine fortschrittliche Software zur automatisierten Funktionsüberprüfung. Es verfügt über eine leistungsstarke Defekterkennungsmaschine, um Partikel, Mängel, Minutenfehler und Unregelmäßigkeiten zu erkennen. Diese Software ist auch mit leistungsstarken Programmierfunktionen ausgestattet, so dass der Benutzer automatisierte Sequenzen erstellen kann, um mehrere Arten von Funktionen zu überprüfen. NIKON Optistation VII wurde entwickelt, um eine automatisierte, zuverlässige und hochgenaue Inspektion von Masken und Wafern zu ermöglichen. Mit einer breiten Palette an Vielseitigkeit, erweiterten Softwarefunktionen und überlegener Genauigkeit ist dies eine ideale Wahl für Inspektionsanwendungen, die eine hohe Präzision erfordern.
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