Gebraucht NIKON Optistation VII #9171873 zu verkaufen
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ID: 9171873
Wafergröße: 12"
Wafer defect inspection system, 12", parts machine
(2) FOUP Front end load ports
ASYST ISO port FL300 with mapper and RF ID
ULPA Filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
Eyepieces: 10x
Objective lens: 2.5x
0.075 W.D. 8.8 mm
10x N.A. 0.300 W.D. 6.50 mm
20x N.A. 0.460 W.D. 3.10 mm
50x N.A. 0.900 W.D 0.42 mm
15x N.A. 0.900 W D.0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 W
Robot controller
Ceramic robot arm
Macro unit A:
Wafer chuck
Macro movable unit
Slider assembly
Macro unit B:
Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit
XY Stage / Chuck
XYZ Drive unit
DART Controller: Image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard / Trackball
Image capture board:
Integral technologies video card
SONY Camera: DXC- 9XX/MD
Includes:
Robot
Sensor ARM
Power supply
Magnetic track
Controller.
NIKON Optistation VII ist eine umfassende und fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung. Es verfügt über Bildsensoren mit hoher Helligkeit mit mehreren Abbildungsplattformen, so dass es ideal für verschiedene Inspektionsaufgaben. Das System eignet sich besonders zur präzisen und genauen Identifizierung von Minutenfehlern in der Wafer-Lithographie und Maskeninspektion. Das Gerät verfügt über einen Quad-CCD-Farbsensor, der Farbbilder mit bis zu 10-facher Auflösung als herkömmliche Masken- und Wafer-Inspektionssysteme aufnehmen kann. Es enthält auch eine integrierte DLP-Projektionstechnologie, die hervorragende Helligkeit, Auflösung, Sättigung und Dynamikbereich bietet. Die DLP-Technologie bietet auch unübertroffene Gleichmäßigkeit und Konsistenz, was zu einer überlegenen Bildqualität gegenüber herkömmlichen Systemen führt. Optistation VII verfügt zudem über eine hochmoderne Optik für klare und scharfe Bildgebung. Es verwendet fortschrittliche Wellenfront-Sensor- und Korrekturtechnologie, um optische Aberrationen zu beseitigen. Dies gewährleistet eine ultrascharfe optische Maschine, die sowohl bei der Wafer- als auch bei der Maskeninspektion sehr feine Merkmale erkennen kann. Das Tool umfasst eine umfassende Palette von Bildverarbeitungs- und Analysetools wie automatische Ausrichtung, Fehlerüberprüfung, Musteranpassung und dynamische Bildverbesserung. Die Bildverarbeitungs- und Analysewerkzeuge können sowohl bei der Wafer- als auch bei der Maskeninspektion Fehler identifizieren und analysieren. Darüber hinaus umfasst NIKON Optistation VII auch eine Reihe weiterer erweiterter Funktionen wie Autofokus, 3D-Nähen und erweiterte Bildverarbeitungsalgorithmen. Das Asset verfügt zudem über eine integrierte Statistikgenerationsfähigkeit, die eine detaillierte Analyse der Ergebnisse aus jedem Inspektionslauf ermöglicht. Optistation VII ist eine ideale Lösung für Masken- und Waferinspektionsanwendungen und bietet überlegene Leistung und Zuverlässigkeit. Es ist ein effektives und effizientes Modell zur Inspektion und Analyse verschiedener Komponenten, die bei der Herstellung von Wafern und Lithographien verwendet werden.
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