Gebraucht OSI VLS-1 #176092 zu verkaufen

OSI VLS-1 ist eine vollautomatische Top-Down-Inline-Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen. Das System ist in der Lage, die kritischen optischen Parameter von lithographischen Masken wie Fehlererkennung, Opazität, Reflektivität und Kontrast zu messen. Darüber hinaus ist es in der Lage, nicht-lithographische Defekte wie Verunreinigungen, Mikrorisse und andere Defekte auf der Waferoberfläche zu erkennen. VLS-1 inspiziert sowohl die Maske als auch den Wafer mit Hilfe von Helligkeits- und Dunkelfeldbeleuchtungstechniken. Es ist mit einer fortschrittlichen 8-achsigen, hochauflösenden XY-Motor-Einheit ausgestattet, die eine präzise Positionierung der Maske mit Mikron-Genauigkeit ermöglicht. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine integrierte Lupe und ein Laser-Rastermikroskop, das bis zu 256x256 Mikrometer Fläche bei einer Schärfentiefe von bis zu 90 Mikrometern inspizieren kann. Die CCD Hochleistungshochleistungskamera ermöglicht dem Werkzeug, Defekte unten zu 0,1 Mikron in der Größe mit der sehr hohen Empfindlichkeit zu entdecken. OSI VLS-1 Software ist sowohl für die Prozesssteuerung als auch für die eigenständige Bedienung konzipiert. Es ist in ein Datenbankelement integriert, mit dem Benutzer Parameter konfigurieren und Ergebnisse speichern können. Die benutzerfreundliche und intuitive Softwareschnittstelle ermöglicht eine schnelle und einfache Einrichtung und Analyse von Daten. VLS-1 bietet die unübertroffene Genauigkeit und Empfindlichkeit, die für kritische Anforderungen an die Masken- und Waferproduktion erforderlich ist. Die intuitive, einfach zu bedienende Benutzeroberfläche ermöglicht einen schnellen Zugriff auf Ergebnisse und bietet maximale Flexibilität bei der Prozesssteuerung und -optimierung. Schließlich bietet OSI VLS-1 Anwendern eine kosteneffiziente Lösung, um den Produktertrag zu verbessern, den Durchsatz zu erhöhen und Kosten im Zusammenhang mit Masken- und Waferinspektionen zu senken.