Gebraucht PRISM VIT-128 #293587219 zu verkaufen

PRISM VIT-128 ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage der PRISM-Serie, die von KLA-Tencor entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, die gesamte Bandbreite an Masken und Substraten zu überprüfen, die bei der Herstellung integrierter Schaltungen verwendet werden, und ist speziell dafür ausgelegt, einen ultrahohen Durchsatz zu ermöglichen. Die leistungsstarken Inspektionsmöglichkeiten von VIT-128 werden durch die einzigartige Kombination von Technologien ermöglicht. Im Kern nutzt das Gerät eine hochauflösende vierfache Nanospot-Projektionsmaschine, die ihm eine Erkennungsauflösung von unter 0,1 Mikrometern gibt. Gekoppelt mit einer 1,3-Megapixel-Kamera ist das Tool in der Lage, sowohl Projektionen als auch hinterleuchtete Bilder von Masken- und Waferdefekten in Echtzeit zu inspizieren. Darüber hinaus weist die Anlage eine beeindruckende Inspektionsgeschwindigkeit von bis zu 100 K Wafern pro Stunde und einen hohen Durchsatz von über 1 Million Wafern pro Monat auf. PRISM VIT-128 verwendet patentierte Bildgebungstechnologien wie variable Fokus-Vierkanal-Bildgebung (FFT) und räumliche Auflösung-Streuung (SRS) für präzise, wiederholbare und zuverlässige Inspektionsergebnisse. Dies verbessert die Genauigkeit und Empfindlichkeit des Modells zur Erkennung von Defekten, wodurch die Rate falsch-positiver Erkennungen reduziert wird. Darüber hinaus verwendet die Ausrüstung Hellfeld, Dunkelfeld und abgeschwächte Hellfeld-Beleuchtungsmodi, die eine bessere Visualisierung von Masken- und Wafermustern ermöglichen, um eine Vielzahl von Schichten und Substraten zu inspizieren. VIT-128 bietet eine leistungsstarke und dennoch flexible automatisierte und manuelle Fehlerüberprüfung, die eine gründliche und umfassende Analyse ermöglicht. Es beinhaltet eine leistungsstarke Wafer-basierte Überprüfung mit einem XYZ-Mikroskop, die eine präzise Inspektion komplexer Geräte und eine präzise Charakterisierung mehrerer Fehlertypen ermöglicht. Darüber hinaus umfasst das System die Defect Origin Mapping (DOM™) -Technologie von KLA-Tencor, die eine höhere Kontrolle und Genauigkeit bei der Identifizierung von Fehlern und deren Herkunft ermöglicht. Schließlich bietet das Gerät durch den Einsatz der TotalPrint™ Bildverarbeitungsmaschine KLA-Tencor Echtzeit-Zugriff auf die defekte Topographie. So können Benutzer Fehlerbilder erfassen und speichern und zur weiteren Analyse und Überprüfung nutzen. Mit den hochauflösenden Bildern von TotalPrint ist es sogar möglich, Fehlererkennungen zwischen verschiedenen Prüfstationen zur weiteren technischen Validierung zu vergleichen. Insgesamt ist PRISM VIT-128 ein äußerst zuverlässiges und leistungsstarkes Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug, das beispiellose Fehlererkennungs- und Charakterisierungsfunktionen bietet. Seine hochauflösende Bildgebung und seine innovativen Fehlerüberprüfungsfunktionen ermöglichen es ihm, eine Vielzahl von Fehlern mit hoher Genauigkeit zu erkennen und so fehlerfreie integrierte Schaltungen zu gewährleisten.