Gebraucht RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #293633971 zu verkaufen
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RUDOLPH/AUGUST AXI-930 Masken- und Wafer-Inspektionsgeräte von AUGUST Technologies ist ein automatisiertes Inspektionssystem, das entwickelt wurde, um Halbleiterscheiben und Maskensubstrate genau zu überprüfen und zu analysieren. Seine fortschrittliche Optikeinheit bietet eine schnelle und genaue Inspektion von Partikelwerten und anderen Oberflächenfehlern. AUGUST AXI-930 ist in der Lage, bis zu sechs Fehlergrößen auf Wafern mit einer Mindestscangröße von 30 Mikrometern zu erkennen. Die Maschine ist für eine gleichmäßige Fehlerabdeckung über den gesamten Wafer mit einer maximalen Wafergröße von 200 mm ausgelegt. Es ist mit 6,1 Megapixel ausgestattet, echte Farbkamera, die Vollbild-Bilder bei 1.000 Bildern pro Sekunde aufnehmen kann. RUDOLPH AXI 930 verfügt über eine intuitive, einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI), die es dem Bediener ermöglicht, aus einer Bibliothek von Presets auszuwählen oder eigene voreingestellte Einstellungen zu erstellen. Diese Einstellungen umfassen Filter und Algorithmen, die zur Anpassung der Bildqualität, zur Analyse des Fehlerlayouts und zur Steuerung von Werkzeugfunktionen verwendet werden können. Die GUI ermöglicht es dem Benutzer auch, Bilder zu überprüfen und mit Anmerkungen zu versehen sowie Interessengebiete (AOI) und Testmuster auszuwählen. Das Inspektionsobjekt verfügt über integrierte Funktionen, um den Betrieb einfacher zu machen, wie automatisches Laden/Entladen von Wafern, Bildnähte, ein 3D-Musterkorrekturmodell und automatisierte Fokussierung. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche Optik-Technologie ein größeres Sichtfeld, so dass Partikel und Defekte von 100 Nanometern oder mehr erkannt werden können. RUDOLPH AXI-930 kann mehrere Masken und Wafersubstrate aufnehmen und verfügt über automatisierte Substratausrichtungsmöglichkeiten, die eine schnelle und genaue Registrierung mehrerer Substrate ermöglichen. Außerdem ist eine patentierte Kalibrierfunktion enthalten, die den Eingriff des Bedieners minimiert, indem sie automatisch die Feinausrichtung zwischen dem ersten und zweiten Sichtfeld durchführt. RUDOLPH/AUGUST AXI 930 Maske und Wafer Inspection Equipment von RUDOLPH Technologies ist mit seiner fortschrittlichen Optik, der intuitiven Benutzeroberfläche, der Unterstützung mehrerer Substrate und der automatisierten Ausrichtung eine außergewöhnliche Wahl für die Halbleiterwafer- und Maskeninspektion. Es ist eine ideale Wahl für den Halbleiterhersteller, der schnelle und genaue Inspektionsergebnisse von Partikelwerten und anderen Oberflächenfehlern sucht.
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