Gebraucht RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #9107569 zu verkaufen
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ID: 9107569
Weinlese: 2006
Macro defect inspection system
Part machine
2006 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-930 Mask & Wafer Inspection Equipment kombiniert bildgebende Technologie mit anspruchsvoller Mustererkennungssoftware, um die schnelle und effiziente Inspektion von Halbleitermasken und Wafern zu unterstützen. Mit fortschrittlicher optischer und Bewegungssteuerungstechnologie inspiziert AUGUST AXI-930 bis zu 9 Felder pro Mikroskop-Sichtfeld über einen gesamten Wafer oder eine Maske. Die automatisierungsfähige Modifizierung von RUDOLPH AXI 930 ermöglicht die Integration in verschiedene Fabrik-Automatisierungssysteme. AXI 930 wird mit einem pulsierten 360-° Laserdiodenlinienscansystem, Sichtprüfung und Stromversorgungseinheit des Metalloxydhalbleiterfeldwirkungstransistors (MOSFET) ausgestattet, Benutzer mit einer einzelnen Maschine sowohl für die Oberfläche als auch für Randinspektion versorgend. RUDOLPH/AUGUST AXI 930 verfügt auch über ein variables Vergrößerungsantriebsmodul, das die Bildvergrößerung je nach Maßstab des Objekts automatisch von mindestens 40X bis maximal 500X verschieben kann. Die eingebaute Drift-Kompensation von AXI-930 hält den optimalen Bildfokus aufrecht, unabhängig davon, wie die Waferbelastung durch manuelle Handhabung oder eine Verschiebung der Waferposition aufgrund thermischer Gradienten in der Wafer- oder Maskenoberfläche beeinflusst wird. Die Treibersoftware Image Acquisition and Processing des Tools, die für die Ausführung auf Ethernet-angeschlossenen PCs entwickelt wurde, bietet Vollfeldbildaufnahme-, Anzeige- und Bildverarbeitungsfunktionen. Bilder können entweder als Einzelbilder oder als Mehrbild-Bitmap gespeichert werden. Das in zwei Versionen erhältliche Mustererkennungsmodul von AUGUST AXI 930 unterstützt sowohl FDTD (Finite Difference Time Domain) als auch Hough-Transformationsalgorithmen und ist mit mehreren Filter- und Rauschreduktionsalgorithmen ausgestattet, um Fehler auf Halbleiterbauelementen zu erkennen. RUDOLPH AXI-930 bietet auch Echtzeit-Bildverarbeitung und Fehlererkennung, die es dem Asset ermöglicht, schnell auf Änderungen der Defekteigenschaften zu reagieren. Darüber hinaus ist die MetaCam Software-Anwendung in der Lage, druckbare Fehlerbilder in einer Vielzahl von Formaten zu erstellen und gleichzeitig die Ergebnisse jedes Prüfzyklus automatisch zu dokumentieren. Zusammenfassend kombiniert RUDOLPH/AUGUST AXI-930 Mask & Wafer Inspection Model ausgefeilte Bildanalyse und Mustererkennungssoftware mit fortschrittlicher Bewegungssteuerungstechnologie, um verschiedene Defekte auf Halbleiterscheiben und Masken schnell und genau zu erkennen und zu lokalisieren. Das Gerät umfasst ein variables Vergrößerungslaufwerk, Echtzeit-Bildverarbeitungstechnologie, schnelle Mustererkennungssysteme und Vollfeld-Bilderfassungssoftware. AUGUST AXI-930 ist ein fortschrittliches und zuverlässiges Werkzeug zur Erkennung und Messung von Defekten auf Halbleiterscheiben und -masken.
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