Gebraucht RUDOLPH / AUGUST AXI-935 #9275463 zu verkaufen
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RUDOLPH/AUGUST AXI-935 ist eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Identifizierung und Vermeidung von Produktionsfehlern. Das System bietet eine Reihe von erweiterten Funktionen, wie Doppelstrahl-berührungslose Bildgebung, High-Speed-Edge-Scanning, Low-Vergrößerung-Wafer-Scanning und automatische Fehlerklassifizierung. Das Gerät nutzt eine 350mm Waferstufe und ist in der Lage, Wafergrößen von bis zu 8 Zoll Durchmesser zu messen. Die AXi-Maschine ist mit zwei Strahlen ausgestattet - einer für Hellfeld und der andere für Dunkelfeld-Bildgebung - die in der Lage sind, Bilder in sehr hoher Auflösung zu erzeugen. Die Balken können eingestellt werden, um Inspektionen sowohl von der Vorderseite als auch von der Rückseite des Wafers durchzuführen. Mit dieser Funktion kann das Werkzeug Fehler auch auf Nanoskala erkennen. Das Asset verfügt außerdem über ein Low-Background-Bildverarbeitungsmodell mit niedrigen kV-Werten, das es ermöglicht, subtile Fehler zu erkennen, die herkömmliche Bildverarbeitungstechniken möglicherweise verpasst haben. Für die Defektklassifikation verwertet die AXi-Ausrüstung ein Hochleistungsmusteranerkennungssystem. Diese Technologie kann selbst komplexeste Oberflächenfehler punktgenau identifizieren und klassifizieren. Das Gerät bietet auch eine automatisierte Merkmalserkennung, die es einfach macht, wiederholbare Fehler schnell und genau zu erkennen. Darüber hinaus verfügt die AXi-Maschine über ein Hochgeschwindigkeits-Kantenscanner, mit dem Proben sowohl in x- als auch in y-Achse exakt gemessen werden können. Dies ermöglicht dem Asset eine hervorragende Maßhaltigkeit und Positionsgenauigkeit. Ein hochpräzises Encoder-Modell ermöglicht es dem Gerät, die Maskenposition genau zu verfolgen und die genaue Größe und Form von Defekten sowie die Rauheit der Oberfläche zu berechnen. Schließlich verfügt das AXi-System über eine intuitive Benutzeroberfläche, mit der Benutzer Einstellungen anpassen und die Leistung der Einheit optimieren können. Es bietet auch verbesserte Sicherheitsfunktionen, um den Bediener und Proben vor Gefahren zu schützen. All diese Eigenschaften machen AUGUST AXI-935 zu einer idealen Maschine, um Fehler an Wafern und Masken schnell und zuverlässig zu erkennen.
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