Gebraucht RUDOLPH / AUGUST AXI-S #293637922 zu verkaufen

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 293637922
Wafergröße: 12"
Wafer inspection system, 12".
RUDOLPH/AUGUST AXI-S ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage von AUGUST Technologies, die die Lücke zwischen manueller und automatisierter Inspektion überbrückt. AUGUST AXI-S kombiniert fortschrittliche Bildanalyse-Algorithmen mit intuitiver Software, die es Anwendern ermöglicht, Maskendefekte genau zu erkennen und Fehler auf lokalisierten Bereichen von Halbleitermasken zu verarbeiten. Das System verwendet Edge Map Profiling (EMP), um KE-Kanten zu erkennen, und kann KEs bis zu 0,5 Mikrometer erkennen. RUDOLPH AXI-S inspiziert die gesamte Oberfläche des Wafers einschließlich des fehlerfreien Bereichs und ermöglicht es, Fehler zu erkennen, die sonst durch herkömmliche Inspektionsmethoden verfehlt würden. AXI-S bietet die höchste Fehlerempfindlichkeit, die in einer Maskeninspektionseinheit aufgrund der Verwendung von Bildanalysealgorithmen und der Fähigkeit, mehrere Bilder des gleichen Bereichs zu analysieren, zur Verfügung steht. Dies wird durch die Kombination verschiedener Technologien wie Stereobildgebung, Dunkelfeldbildgebung und Rasterelektronenmikroskopie erreicht. Es bietet auch eine hohe Fehleranalysegeschwindigkeit durch den Einsatz fortgeschrittener Algorithmen, die Fehler schnell erkennen und analysieren können. Darüber hinaus verwendet die Maschine ein leistungsfähiges Bilddatenbank-Tool, um Fehlerdaten über mehrere Inspektionen hinweg zu speichern und leicht darauf zuzugreifen. RUDOLPH/AUGUST AXI-S ist vollautomatisiert und hat die Fähigkeit, das bildgebende Element automatisch zu fokussieren und die Empfindlichkeit während des Inspektionsprozesses anzupassen. Es kann auch detaillierte Inspektionsberichte erstellen, die den Benutzern Zugang zu allen notwendigen Informationen über die Inspektion ermöglichen. Darüber hinaus verfügt es über eine Musterbereichsauswahlfunktion, mit der Benutzer nur bestimmte Bereiche des Wafers zur Inspektion auswählen können. Dies hilft, die Inspektionszeit zu reduzieren, da unnötige Bereiche übersprungen werden. AUGUST AXI-S ist in der Lage, Masken und Substrate verschiedener Größen und Formen von kleinen bis großen komplexen Stücken zu inspizieren. Seine hohe Genauigkeit und Präzision machen es zu einer großen Wahl für die Inspektion komplexer Schaltkreise und anderer spezialisierter Produktionsumgebungen. Darüber hinaus ermöglicht seine benutzerfreundliche Oberfläche auch unerfahrenen Benutzern, schnell zu lernen, wie das Modell zu bedienen. Mit dem zusätzlichen Vorteil seiner Unterstützung für mehrere Sprachen und seiner Fähigkeit, detaillierte Berichte zu erstellen, ist RUDOLPH AXI-S eine ideale Wahl für die Automatisierung des Inspektionsprozesses.
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