Gebraucht RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9220042 zu verkaufen
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ID: 9220042
Weinlese: 2006
Advanced wafer inspection system
Automatic data collection and reporting
With wafer handler
Inspection camera: 1.8MB Monochrome CCD
Review camera: 3CCD Color
Defect sensitivity: 0.5 Microns (User adjustable)
2006 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-S ist ein hochentwickeltes Masken- und Wafer-Inspektionsgerät und Engineering-Tool. Es ist für die vollautomatische Inspektion von Masken und Wafern für die Halbleiterindustrie konzipiert. Das System ist in der Lage, mehrere Ebenen von Masken und Wafern mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu inspizieren und ermöglicht eine schnelle und effiziente Überprüfung verschiedener technologischer Merkmale. Das Gerät nutzt fortschrittliche Bildgebungstechnologie wie Digitalkameras und Laserscanner für den Inspektionsprozess. Die Kamera erfasst das Bild der Masken- und Wafermuster und sendet das Bild zur Analyse an die Software. Die Software führt dann verschiedene Tests durch, wie Musteridentifikation, Fehlerdruck und Überlagerungen von Zeichnungen, um ein genaues Bild des geprüften Artikels zu erzeugen. Neben der bildgebenden Technologie setzt die Maschine auch leistungsstarke Algorithmen und Signalverarbeitungstechniken ein, um Fehler genau zu erkennen. Es ist in der Lage, mehrere Ebenen von Masken und Wafern zu inspizieren, einschließlich sowohl planare (flache) als auch 3D (räumliche) Masken und Wafer. Es kann Variationen der Teilsteigung und Linienbreite erkennen, die elektrische Shorts verursachen können, und auf Erosion, Belichtung und Musterausrichtung überprüfen. Seine fortschrittliche Bildgebungstechnologie und ausgeklügelte Algorithmen ermöglichen es dem Tool, potenzielle Fehler schnell und genau zu erkennen. Das Asset verfügt über ein umfassendes Datenverwaltungsmodell, mit dem Benutzer die Ergebnisse ihrer Inspektionen verfolgen können. Durch die Datenverwaltungsausrüstung können Benutzer vergangene Testergebnisse speichern und abrufen, die zum Vergleich verschiedener Produktchargen verwendet werden können. Mit dieser Funktion können Benutzer Änderungen an ihren Produkten schnell erkennen und mögliche Qualitätsabweichungen erkennen. Insgesamt ist AUGUST AXI-S ein innovatives und leistungsstarkes Masken- und Wafer-Inspektionssystem und Engineering-Tool, das für eine breite Palette von Halbleiteranwendungen konzipiert ist. Seine fortschrittliche Bildgebungstechnologie und leistungsstarke Algorithmen, kombiniert mit seiner umfassenden Datenverwaltungseinheit, machen die Maschine ideal, um kleinstmögliche Fehler in kurzer Zeit zu erkennen.
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