Gebraucht RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9270934 zu verkaufen

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 9270934
Wafer inspection system 2004 vintage.
RUDOLPH/AUGUST AXI-S ist eine voll ausgestattete Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Dieses fortschrittliche System nutzt eine einzigartige Kombination aus automatisierter optischer Bildgebung, Röntgenfluoreszenzspektroskopie, statistischer Prozessüberwachung und automatisierter Fehleranalyse, um eine hochauflösende Inspektion und Bewertung kritischer IC-Strukturen zu ermöglichen. Die automatisierte optische Bildgebungskomponente des Geräts verwendet eine Kombination aus Hellfeld-, Schräg- und axialen Bildgebungstechniken, um IC-Funktionen mit hoher Auflösung und Genauigkeit zu analysieren. Dadurch wird sichergestellt, dass auch schwache Bilder oder Muster von Merkmalen zur sofortigen Inspektion und Analyse sichtbar sind. Darüber hinaus liefern die Röntgenfluoreszenzspektroskopie der Maschine detaillierte Informationen über die elementare Zusammensetzung der Merkmale des Geräts. Dies ist vorteilhaft für die Bewertung des Vorhandenseins von Dual-Damaszenen-Metalllinien, Gräben, Ätzen, Metalllegierungszusammensetzung und alle anderen strukturellen Merkmale, die die Geräteleistung beeinflussen können. Neben der optischen Bildgebung und Röntgenfluoreszenzspektroskopie bietet AUGUST AXI-S auch eine leistungsstarke statistische Prozessüberwachung. Auf diese Weise können über 60 Parameter der Qualitätssicherungsdaten erfasst, gespeichert und analysiert werden. Dies erleichtert die Ermittlung, Verfolgung und Analyse von Trends in Geräteparametern. Mit dieser Fähigkeit können potenzielle Probleme schnell erkannt und angegangen werden, bevor erhebliche Auswirkungen auf die Produktqualität oder -zuverlässigkeit auftreten. Schließlich ermöglichen die automatisierten Fehleranalysefunktionen des Werkzeugs kürzere Testzyklen und einen höheren Durchsatz. Das Asset erkennt subtile Variationen in Bildern, Mustern und strukturellen Merkmalen, die auf mögliche Fehler hinweisen. Das Modell verwendet dann seine eingehende Analyse, um gemeinsame Fehlerpunkte in einem Gerät zu identifizieren und eine sofortige Empfehlung für Korrekturmaßnahmen bereitzustellen. RUDOLPH AXI-S ist eine leistungsstarke, vielseitige und genaue Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die eine effiziente Erkennung subtiler Variationen in IC-Strukturen ermöglicht. Die Kombination aus optischer Bildgebung, Röntgenfluoreszenzspektroskopie, statistischer Prozessüberwachung und automatisierter Fehleranalyse sorgt dafür, dass Geräte von überlegener, hoher Zuverlässigkeitsqualität sind. Mit dem Einsatz dieses Systems können Halbleiterhersteller konstant zuverlässige IC-Produkte gewährleisten.
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