Gebraucht RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9308155 zu verkaufen

RUDOLPH / AUGUST AXI-S
ID: 9308155
Wafergröße: 12"
Wafer inspection systems, 12".
RUDOLPH/AUGUST AXI-S ist eine umfassende Lösung zur Inspektion von Masken und Wafern. Es bietet eine breite Palette von Dienstleistungen, darunter digitale Bildverarbeitung und hochpräzise Messtechnik. AUGUST AXI-S ist eine komplette Ausrüstung, die in der Lage ist, Hochgeschwindigkeitsprüfung und Datenanalyse und zuverlässige Prozesssteuerung. RUDOLPH AXI-S besteht aus spezialisierten optischen Komponenten, fortschrittlicher Software und einem maßgeschneiderten Roboterverarbeitungssystem. Es verwendet lichtempfindliche Sensoren, um Defekte in Maske und Wafern zu erkennen. Die Sensoren sind auf einer präzisen x-y-Bühne montiert, die sich mit einem Roboterboden an jeden gewünschten Ort auf der Bühne bewegen kann. Diese Sensoren werden kalibriert, um die genaue Position des Fehlers zu messen, was eine genaue Messung der Abmessungen jedes Fehlers ermöglicht. AXI-S misst auch die Formen und Orientierung der Wafer. Es verwendet eine Zurückbeleuchtungsbeleuchtungsweise und fortgeschrittene Flankenerkennungsalgorithmen, um die Dimensionen der Formen und Position der Oblaten genau zu messen. Das Gerät führt auch eine vollständige Datenanalyse der Abbildungsdaten durch und liefert eine detaillierte Analyse der Fehlercharakteristika und Geräteparameter. Die Maschine enthält auch ein Wafer-Tracking-Tool, das jeden Wafer verfolgt, während er sich durch das Asset bewegt. Dieses Modell bietet die Möglichkeit, die Wafer vom Front-End bis zum Back-End der Geräte für eine einfachere Verwaltung und Qualitätskontrolle zu verfolgen. Die benutzerfreundliche RUDOLPH/AUGUST AXI-S Software dient zur Steuerung des Systems und zur Konfiguration der Parameter. Mit den anpassbaren Einstellungen und leistungsstarken Bildverarbeitungstools kann der Benutzer ganz einfach individuelle Berichte für jeden Wafer erstellen. Die Software bietet auch eine effiziente und automatische Fehlererkennung und einfache Fehlerinspektion. Es enthält auch ein automatisiertes Fehlerklassifizierungs-Tool, das jeden Fehler genau messen und diagnostizieren kann. Die Fehlerklassifizierungseinheit basiert auf einer Analyse auf KE-Ebene, die verschiedene Parameter verwendet, z. B. Größe, Form, Position und Farbe. Dies ermöglicht eine höhere Genauigkeit und einfachere Fehleranalyse. AUGUST AXI-S ist eine zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die für die Online-Inspektion mit Geschwindigkeit und Genauigkeit entwickelt wurde. Dieses Inspektionswerkzeug ist anpassbar und bietet zuverlässige Prozesssteuerung und komplette Datenanalyse. Die automatisierte Fehlerklassifizierung führt die Genauigkeit und Fehlerinspektion auf die nächste Stufe und ermöglicht dem Anwender eine vollständige Kontrolle und Analyse sowohl während des Prozesses als auch nach dem Prozess.
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