Gebraucht RUDOLPH / AUGUST AXI-S #9401136 zu verkaufen
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RUDOLPH/AUGUST AXI-S ist eine umfassende Masken- und Waferinspektionsanlage, die den hohen Anforderungen der Prozesssteuerung in der Mikroelektronikindustrie gerecht wird. Das System bietet volle Automatisierung mit Eigenschaftenmessfunktionen und erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen. Das Gerät besteht aus zwei Hauptteilen: einer 4AUGUST AXI-S, einer Präzisions-XY-Bühne und einer eingebetteten Vision-Maschine. Die 4RUDOLPH AXI-S, Präzisions-XY-Stufe verwendet Linearmotoren, um eine Hochgeschwindigkeitsbewegung zu erreichen, und kann Objekte in X-, Y- und Z-Richtung mit einer Auflösung von 0,1 μ m genau bewegen. Diese Stufe hat auch einen eingebauten Roboterarm mit einer maximalen Geschwindigkeit von 1mm/s und einer Kraftleistung von 1,500N. Das Embedded Vision Tool nutzt die neueste intelligente Bilderkennungstechnologie und ermöglicht eine gleichzeitige Multi-Flash Bildverarbeitung. Es bietet ein breites Sichtfeld und kann selbst die anspruchsvollsten Defekte und Muster erkennen. Die Anlage liefert genaue und zuverlässige Messdaten für alle Arten von Masken und Wafern, einschließlich dünner, dicker und ultradünner Phasen. Die Messdaten werden zur statistischen Trendanalyse und Prozessoptimierung weiterverarbeitet. Das Modell bietet auch umfassende Software, die eine benutzerfreundliche GUI für Echtzeit-Bildanzeige und mehrstufige Operationen bietet. Es unterstützt Live-Bilderfassung, Bildmanipulation und Bildanalyse und -analyse. Die Software ermöglicht die Prozesssteuerung mit verschiedenen komplexen Operationen. Zudem bietet die Anlage die Flexibilität, sich in bestehende Systeme zu integrieren. Darüber hinaus ist es mit erweiterten Funktionen wie NIST-Synchronisation, OCR-Mustererkennung, Dual-Channel-Alarm und SPS-Steuerung ausgestattet. Alle diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, die Leistung des Systems zu überwachen und anzupassen. AXI-S ist eine kostengünstige und vielseitige Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die höchsten Produktionsanforderungen gerecht wird. Es bietet zuverlässige und genaue Messdaten und Prozesssteuerung mit verschiedenen komplexen Operationen. Diese Maschine ist eine perfekte Lösung für die Produktion von großvolumigen Mikroelektronik.
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