Gebraucht RUDOLPH / AUGUST NSX 100A1 #9239070 zu verkaufen

ID: 9239070
Weinlese: 2011
Inspection system With automatic die 2011 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 100A1 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die zur Erkennung von Defekten in Photomasken und dünnen Wafern bei der Herstellung extrem kleiner mikroelektronischer Komponenten entwickelt wurde. Diese Art von Ausrüstung ist wesentlich für die Qualitätskontrolle und Erkennung von Fehlern, die mit einem Standardmikroskop vermisst werden können. AUGUST NSX 100A1 verwendet patentierte dynamische Beobachtungsstrukturen (DOF), um kleine Defekte sowohl auf ebenen als auch auf unregelmäßigen Oberflächen, wie auf dünnen Waferschichten, genau zu erkennen. Dieses System verwendet eine integrierte Bildverarbeitungseinheit mit hoher Auflösung und variablem Zoom, um Fehler auf mikroskopischer Ebene zu identifizieren. Ein Stochastic Ricochet Imaging (SRI) -Algorithmus wird verwendet, um Bilder von komplexen Oberflächen mittels Hochfrequenzscannen zu erfassen, um Waferfunktionen zu trennen und Fehler schnell zu identifizieren. RUDOLPH NSX 100A1 wurde entwickelt, um Standard-Fotomasken mit Größen von bis zu 200mm und dünnen Wafergrößen bis zu 300mm in gleicher Auflösung zu handhaben. Die Maschine verfügt über eine automatisierte Kalibrierungsfunktion, mit der der Bediener schnell einwählen und den richtigen Fokus beibehalten kann. Die Benutzeroberfläche für NSX 100A1 ist ein intuitives grafisches Touchscreen-Display, das mit einem Stift oder Touchpad bedient werden kann. Die Schnittstelle macht es einfach, Inspektionsparameter schnell einzustellen und anzupassen. Es ermöglicht dem Bediener auch, die Maske oder den Wafer sowohl in 2D- als auch in 3D-Bildern zu betrachten, was perfekt für Anwendungen ist, die eine hohe Präzision erfordern, beispielsweise bei der Herstellung integrierter Schaltungen. RUDOLPH/AUGUST NSX 100A1 verfügt auch über erweiterte Funktionen zur Fehlerklassifizierung, automatisierten Fehlerinspektion und Fehleranalyse. Es kann Partikel bis zu 2,5 Mikrometer nachweisen, was für die Qualitätskontrolle bei der Herstellung von Mikromerkmalen unerlässlich ist. Die Fehleranalyse-Funktion nimmt Batch-Bilder während des Bildgebungsprozesses aufgenommen, so dass das Werkzeug Fehler schnell und genau erkennen und klassifizieren. AUGUST NSX 100A1 ist die perfekte Bereicherung für schnelle Masken- und Wafer-Inspektion. Dank der fortschrittlichen Funktionen und der intuitiven Benutzeroberfläche ist es einfach einzurichten und zu bedienen, und die Fähigkeit, Fehler in extrem hoher Auflösung zu erfassen und zu analysieren, macht es zu einer idealen Wahl für die Qualitätskontrolle im mikroelektronischen Produktionsprozess.
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