Gebraucht RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9191496 zu verkaufen
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ID: 9191496
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Inspection system, 8"
(2) Load ports, 6"-8"
BROOKS AUTOMATION Robot and aligner
Wafer stage, 12"
(5) Optic lens with SONY CCD 3D camera
2004 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105 ist eine High-Speed Maske & Wafer Inspection Equipment. Dieses System wird verwendet, um das Vorhandensein von Partikeln, Kratzern und anderen Defekten in Halbleiterscheiben und Photomasken-Substraten zu detektieren. Es ist eine fortschrittliche Machine-Vision-Einheit, die vollautomatische Erkennung und Analyse von Partikeln bis zu 10 Mikrometer sowie Kratzer bietet. Die Maschine arbeitet mittels Vollfeld-polarisierter Strobe-Licht-Bildgebung, die dann mit Partikelzählalgorithmen verwendet wird, um das Vorhandensein von Partikeln und anderen Verunreinigungen zu detektieren. Das Werkzeug kann teilchentransparente Partikel und Bereiche ungleichmäßiger Kontamination auf sehr großen Flächen erkennen, so dass das Gut ideal für die Inspektion großer Bereiche von Wafern auf einmal. Es verfügt über ein integriertes proprietäres Tracking-Modell, mit dem Inspektoren den Fortschritt der Inspektion verfolgen können. Das RudyAUGUST NSX-105 umfasst eine hochauflösende Farbkamera und eine hochmoderne Optik. Die Kamera kann sowohl in Zeilen- als auch in Bereichsscan-Formaten konfiguriert werden, sodass der Bediener das Gerät auf die für die jeweilige Anwendung beste Bildqualität einstellen kann. Das System umfasst auch benutzerdefinierte Bildverarbeitungssoftware, die für visuelle Inspektion, statistische Analyse und andere Zwecke konfiguriert werden kann. Diese Einheit arbeitet in Verbindung mit einer Reihe von Zubehörteilen, einschließlich Probenhalter, Flüssigkeitsdispergator und Spanneinheit. Der Probenhalter erleichtert die Präsentation der Probe an die Kamera und ermöglicht die Bestimmung präziser Fokuspunkte. Die Flüssigkeitsdispergator-Einheit dient zum Aufsprühen der trockenen oder flüssigen Naßchemie auf die Probe, während die Spanneinheit zum genauen Aufbringen von Spannung auf die Probenoberfläche zur Erkennung von Kratzern verwendet werden kann. Die Prüfergebnisse werden auf einer Festplatte gespeichert. Die Ergebnisse können analysiert, gedruckt und als zukünftige Referenz gespeichert werden. Die RudyRUDOLPH NSX 105 ist eine zuverlässige, hochwertige Maschine, der viele Hersteller in der Halbleiterindustrie vertrauen, um Defekte zu erkennen. Mit seinen fortschrittlichen Maskierungs- und Wafer-Inspektionsmöglichkeiten bietet dieses Tool ein leistungsfähiges Werkzeug, um potenzielle Probleme mit Halbleitersubstraten schnell und genau zu identifizieren.
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