Gebraucht RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #293615443 zu verkaufen

RUDOLPH / AUGUST NSX 115
ID: 293615443
Weinlese: 2009
Automatic Optical Inspection (AOI) system Wafer handler with X Port 2009 vintage.
AUGUST NSX Serie 115 ist eine Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung entwickelt, um hochpräzise Abbildung von mikroelektronischen Geräten zu ermöglichen. Das System nutzt eine 5-Achsen-Bewegungsplattform und erweiterte optomechatronische und bildgebende Komponenten, um Bilder von Masken und Wafern mit außergewöhnlicher Klarheit und Detailtreue genau zu erfassen und zu verarbeiten. Im Kern werden die luftgetragenen Partikel durch eine CCD-Kamera und eine eingebettete Photomaske detektiert. Die CCD-Kamera erfasst Hellfeldbilder der Probe, die dann mit vier hochgenauen Objektiven analysiert werden. Erfasste Bilder werden auf Unregelmäßigkeiten in den Mustern, auf das Vorhandensein von Verunreinigungen oder auf die Erkennung von Mängeln untersucht. Die Verarbeitung der Bilder wird von einem proprietären Algorithmus verwaltet, der es der Einheit ermöglicht, die Bilder mit einem Referenzstandard zu vergleichen. Das Ergebnis des Vergleichs wird dann von der Maschine verwendet, um etwaige Fehler innerhalb der Vorrichtung oder des Materials zu identifizieren. Das Tool unterstützt weiterhin die Integration von benutzerdefinierter Programmiersteuerung und zusätzlichen Datenverarbeitungsmerkmalen. Darüber hinaus bietet RUDOLPH NSX Serie 115 eine Reihe von erweiterten Funktionen, die es ermöglichen, ein Bild des Läpp- und Polierprozesses zu erstellen. Der Algorithmus verbindet die CCD-Kameras auf dem Asset mit der Bewegungsplattform, so dass er Winkelgeschwindigkeiten, Translationsgeschwindigkeiten und die Gesamtzahl der gescannten Proben berechnen kann. Das Modell ermöglicht ferner die Verlangsamung bei Bewegungsbewegungen, um die Feinabstimmung des Läpp- und Polierprozesses zu ermöglichen. Um eine Vielzahl von Anwendungen und Mustertypen weiter zu unterstützen, kann die RUDOLPH/AUGUST NSX Serie 115 mit verschiedenen Optiken, Immersionsgeräten und Lichtsauerungen konfiguriert werden. Darüber hinaus ist die gesamte Ausrüstung für maximale Zuverlässigkeit und Haltbarkeit gebaut. Dies umfasst sowohl die optischen Komponenten als auch die automatisierten und semiautomatisierten Prozesse, die das System ausführen kann. Abschließend ist die AUGUST NSX Serie 115 eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die überlegene Leistung für anspruchsvolle mikroelektronische Produktionsumgebungen bietet. Die Maschine verfügt über eine Reihe von Funktionen, die eine außergewöhnliche Klarheit und Detailgenauigkeit der von ihren Optomechatronik- und Bildverarbeitungskomponenten aufgenommenen Bilder gewährleisten. Darüber hinaus implementiert das Tool einen ausgeklügelten Algorithmus, um Bilder mit einem Referenzstandard zu vergleichen, wodurch Unregelmäßigkeiten oder Defekte im Prozess erkannt werden können.
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