Gebraucht RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9289377 zu verkaufen
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ID: 9289377
Weinlese: 2010
Automatic Optical Inspection (AOI) systems
2010 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115 ist eine hochmoderne Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die entwickelt wurde, um hohe Qualitätsstandards bei der Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungen zu gewährleisten. Mit bis zu acht in das Design integrierten Kameraköpfen ermöglicht AUGUST NSX 115 die gleichzeitige serienbasierte Inspektion von Wafern und CMP-Panels. Dieses System ist in der Lage, Hochdurchsatzprüfungen durchzuführen und bietet die Möglichkeit, bis zu 500 Wafer pro Stunde und bis zu kostenlosen Wafer-Handling-Funktionen zu untersuchen. Es kann auch mit dem proprietären Augmented Reality (AR) Overlay-Feature potentielle Defekte in einer Waferorientierung erkennen, die ein simuliertes Bild des Defekts innerhalb der exakten physikalischen Position auf dem Wafer ergibt. RUDOLPH NSX 115 verwendet proprietäre Wirbelströme, um die gemusterten Merkmale auf der Waferoberfläche zu bewerten. Dies ermöglicht eine schnelle Beurteilung von metallischer Korrosion und anderen Defekten, die an der Oberfläche vorhanden sein können. Es verwendet auch Diffusionskontrastbildgebung, um die auf der Waferoberfläche erzeugten Muster mit verschiedenen Fotomaskenfiltern zu untersuchen. Dies ermöglicht die Unterscheidung von Fehlern, die sich in einer Merkmalsschicht befinden, von solchen in Trägermaterial oder darunter liegenden Substratschichten. Die Inspektionseinheit enthält eine Vielzahl von Sensoren, einschließlich Elektronenstrahlinspektion, Rasterakustikmikroskopie und Wilcoxon. Auf diese Weise kann die Maschine eine Vielzahl von Defekten erkennen, einschließlich Leitungsfehler, Punktfehler und Höhenunregelmäßigkeiten. Darüber hinaus bietet NSX 115 optische Inspektion, um Gleichmäßigkeit in Mustern, Mustern, die geneigt oder gekrümmt sind, und 3D-Feature-Detektionen zu gewährleisten. Schließlich ist RUDOLPH/AUGUST NSX 115 mit einem Infrarot-Messwerkzeug ausgestattet, das genaue Messungen der geometrischen Merkmale und Eigenschaften eines Wafers ermöglicht. Dies ermöglicht präzise Fehlerdaten und Messungen, die erforderlich sind, um sicherzustellen, dass Wafer den Industriestandards entsprechen. Insgesamt ist AUGUST NSX 115 ein effektives und vielseitiges Werkzeug zur Identifizierung von möglichen Fehlern und Fehlern in der Fertigung. Mit seiner Kombination aus Bildgebungs-, Sensor- und Messtechnologien ist das Asset in der Lage, Wafer und CMP-Panels schnell zu überprüfen, Unregelmäßigkeiten und Fehler zu erkennen und genaue Messungen für die Qualitätssicherung von Wafern zu liefern.
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