Gebraucht RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9394174 zu verkaufen
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ID: 9394174
Automatic Optical Inspection (AOI) System
UltraPort handler
With wafer and filmframe port.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115 Mask & Wafer Inspection Equipment ist ein hochpräzises Hochdurchsatzsystem, das für die Inspektion von kontinuierlichen Masken- und doppelt gemusterten Retikel-Anwendungen entwickelt wurde. Das Gerät ist mit einer 5MP Square CCD Kamera ausgestattet und kann 8um low-k1 und 10um high-k1 Inspektionsauflösung. Die Kamera ist auf einer Z-Achse montiert, um eine vollständige Maskentiefe (MDoF) zur Erfassung der 3D-Maskengeometrie zu ermöglichen, während die Maschine auch in der Lage ist, eine hochauflösende 2D-Top-View-Maskeninspektion bereitzustellen. Darüber hinaus ermöglicht der Multi-Projektor 3D Overlay die manuelle Bewertung des Confidassure Tools und die Inline-Erkennung von Algorithmen. Die Asset-Hardware wird von der Machine-Vision-Plattform SofTec gesteuert, um eine einfache Anpassung und Datenhandhabung mit überlegener Geschwindigkeit und Flexibilität zu ermöglichen. Auf diese Weise können Benutzer problemlos zwischen Inspektionsoperationen wechseln und die komfortable Unterstützung von Multiformat-Tools wie Verstärkung, Subtraktion, Doppeldifferenz, Overlay und Komplexes Overlay mit mehreren Schichten ermöglichen. Darüber hinaus stehen Softwarepakete für spezielle Anwendungen wie 2D-Bildanalyse, Reticle Edge Inspection, Line Edge Roughness, MEF, Fokusmessung, Messintegrität und Repetitive Defect Analysis zur Verfügung. AUGUST NSX 115 ist für die 24/7-Leistung mit Funktionen wie Maske Slide Change, Defect Correction, Cross-Site Report Evaluation, Online OCR und Report Coding konzipiert. Es ist auch entworfen, um Eingriffe des Bedieners zu minimieren und die Erträge zu maximieren, mit einer Vielzahl von Prozesssteuerungsfunktionen wie Maske Load Strategy, Intricacy Map, Defect Management, Online-Analyse und Pre-Cleaning. Durch die Kombination von Softwarefunktionen mit der leistungsstarken 5MP CCD-Kamera bietet RUDOLPH NSX 115 die höchste Retentionsrate auch bei hohen Fehlerquoten und ist in der Lage, hochgenaue Inspektionen mit niedrigen Zykluszeiten zu erstellen. Insgesamt bietet das Masken- und Wafer-Inspektionsmodell NSX 115 eine branchenführende Lösung für hochpräzise, fehlerarme Inspektionen für kontinuierliche Masken- sowie doppelt gemusterte Retikel-Operationen. Durch die Kombination der leistungsstarken 5MP-CCD-Kamera, der SofTec-Bildverarbeitungsplattform und einer Vielzahl unterstützender Software ist RUDOLPH/AUGUST NSX 115 in der Lage, zuverlässige, hohe Durchsätze und genaue Inspektionen anzubieten.
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