Gebraucht RUDOLPH / AUGUST NSX 115 #9395408 zu verkaufen

ID: 9395408
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 2010
Automatic Optical Inspection (AOI) system, 6"-8" GENMARK Gencobot 8/2L PC 2010 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 115 ist ein halbautomatisches System zur Inspektion von Halbleitermasken auf Defekte. AUGUST NSX 115 bietet schnelle, effiziente Wafer- und Maskeninspektionen für Bilderzeugung mit niedriger Auflösung und Bildgebung mit bis zu 4 µm Auflösung, wobei die manuelle Inspektion zu zeitaufwendig ist. Das Gerät verfügt über eine Waferstufe zur Inspektion von bis zu acht 200mm Durchmesser. Wafer mit hoher Geschwindigkeit. Es verfügt auch über eine einstellbare Maske Insight Machine MAG PIE, die Autofokus-Fähigkeit über mehrere Pads sowie ein hochauflösendes optisches Werkzeug bietet, das mit 400p/mm Objektiv arbeitet, um auch feinste Fehler zu erkennen. Die Software von RUDOLPH NSX 115 ist einfach und intuitiv. Es enthält eine Drag-and-Drop-Schnittstelle mit einfach zu bedienenden Dialogfeldern für die Programmierung von Inspektionsaufgaben. Die Anlage umfasst drei Betriebsarten: Waferinspektion, Waferinspektion mit Fokuseinstellung und Maskeninspektion. Wafer- und Maskeninspektionen werden mit bis zu 1.000 Waferinspektionen pro Stunde schnell und einfach abgeschlossen. Zur Benutzerfreundlichkeit bietet das Modell eine Reihe von Bildaufnahmefunktionen, einschließlich synthetischer Blendenbildgebung, digitalem Videozoom und Beleuchtung sowie Bildverbesserungsfunktionen. NSX 115 verfügt zudem über eine automatisierte Mustererkennung und -identifizierung. Die Geräte können mit einem AGV-Roboter zum Be- und Entladen von Wafern und Masken sowie einer externen Offline-Analysestation zum Speichern und Archivieren von Inspektionsdaten integriert werden. Diese Eigenschaften, zusammen mit dem kompakten Design des Systems, machen es ideal für eine Vielzahl von Aufgaben, vor allem im Zusammenhang mit Wafer und Maskeninspektion. Darüber hinaus ist das Gerät auf die Anforderungen der Kunden in einer Vielzahl von Branchen ausgelegt. Als Ergebnis kann RUDOLPH/AUGUST NSX 115 die Anforderungen der anspruchsvollsten Anwender auf dem Gebiet der Halbleitermasken- und Waferinspektion erfüllen.
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