Gebraucht RUDOLPH / AUGUST NSX 330 #9298649 zu verkaufen
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RUDOLPH/AUGUST NSX 330 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die entwickelt wurde, um die Prozessausbeute und -qualität durch schnelle Identifizierung von Masken- und Waferdefekten zu verbessern. Sein modernes optisches System verwendet hochauflösende Bildgebung, um Halbleiterdefekte mit einer Genauigkeit von 10 Nanometern oder besser zu identifizieren. Dadurch wird sichergestellt, dass der Prozess qualitativ hochwertige Produkte mit maximaler Geschwindigkeit und Effizienz liefert. Die AUGUST-Einheit besteht aus Komponenten wie: einem LED-Beleuchter, einer Digitalkamera, einer Mikroskopbühne, einem Waferunterstützungsmechanismus, einem Software-Paket zur Bilderfassung, einem Filterrad, einer motorisierten X & Y-Bühne, einem Industrie-PC sowie Steuerungs- und Betriebssoftware. Kombiniert erstellen diese Komponenten eine automatisierte Bildprüfmaschine, die kleine Defekte an Masken- und Waferoberflächen identifizieren, klassifizieren und messen kann. Das Tool verwendet eine patentierte Technik, die als „Electron Beam Processing (EBP)“ bekannt ist. Diese Technik sammelt Bilddaten aus dem Wafer und Masken, die dann mit einem Referenzbild verglichen werden. Die resultierende Differenzkarte wird verwendet, um feine Defekte mit einer Auflösung von 10 Nanometern oder besser zu erkennen und zu messen. Das Asset hat auch die Fähigkeit, bis zu 10 verschiedene Filtersets für verschiedene Arten von Defekten wie Partikeln oder Kratzern zu überprüfen. AUGUST NSX 330 Modell verfügt auch über ein leistungsfähiges Bildanalyse-Paket, das sofort aufgenommene Bilder verarbeiten kann und eine umfassende Analyse der in einer Inspektionssequenz erkannten Fehler bietet. Das Gerät erlaubt auch Batch-Jobs, die es dem Benutzer ermöglichen, eine unbegrenzte Anzahl von Wafern und Masken mit einem einzigen Prozess zu überprüfen. Um einen zuverlässigen Inspektionsprozess zu gewährleisten, verwendet das RUDOLPH-System vor und nach jeder Inspektion einen strengen Qualitätssicherungs- und Kalibrierungsprozess. Dadurch wird sichergestellt, dass das Gerät einwandfrei und effizient arbeitet. Abschließend ist RUDOLPH NSX-330 eine robuste und zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine, die die Qualität, Ausbeute und Geschwindigkeit der Prozessmontage verbessert. Mit einer Genauigkeit von bis zu 10 Nanometern ist dieses Werkzeug hochgenau, kostengünstig und benutzerfreundlich.
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