Gebraucht RUDOLPH / AUGUST NSX 3DI AXI / UltraPort5 #9233701 zu verkaufen

RUDOLPH/AUGUST NSX 3DI AXI/ UltraPort5 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die speziell für hochauflösende Musteranwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Dieses Instrument kann Fehler in geätzten Mustern auf Maskenscheiben und Wafern mit beispielloser Genauigkeit und Wiederholbarkeit erkennen. Die 3DI Architektur nutzt eine fortschrittliche Optik, um eine dynamische Abbildungswinkeleinstellung von bis zu 5 ° zwischen der Lichtquelle und der Bildebene zu erreichen - und ermöglicht eine präzise Inspektion von Mustern mit Spitzenwinkeln bis zu 80 °. Dieses System hat eine Detektionsrate von bis zu 5 μ m bei 3 σ für Defekte, die aus Photolithographie-Prozessen resultieren, so dass selbst kleinste Defekte erkannt werden können. Die proprietäre Foto-Vakuum-Beleuchtungseinheit reduziert auch Schwankungen von Kamerabildern durch Partikelstaub erheblich. AUGUST NSX 3DI AXI/ UltraPort5 verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die die Bedienung und Steuerung erleichtert, während der modulare Aufbau es ermöglicht, die Maschine auf die spezifischen Bedürfnisse des Kunden zugeschnitten zu sein. RUDOLPH NSX 3DI AXI/ UltraPort5 verfügt zudem über ein innovatives und robustes Wafer-Registrierungstool mit automatischer Musterpositionierung und Orientierung. Dadurch wird sichergestellt, dass jede Inspektion genau und reproduzierbar durchgeführt wird und gleichzeitig Wafer-Knickeffekte erwartet werden. Das Modell bietet auch einen optionalen „Film“ -Modus, mit dem bewegte Ziele, wie z. B. dynamische Defektcluster, im Gegensatz zu statischen Defektmustern überprüft werden können. Darüber hinaus bietet dieses Gerät eine Elektronenstrahlprüfung, die die Fehlerabdeckung des 3DI AXI/ UltraPort5 deutlich erhöht. Diese Funktion ermöglicht es Herstellern, ganze Masken- und Wafer-Mustersätze in wenigen Sekunden zu überprüfen, den Durchsatz zu erhöhen und Kosten zu senken. Die überlegene Rechenleistung des 3DI AXI/UltraPort5 ermöglicht die gleichzeitige Abbildung und Überprüfung von bis zu vier Wafern, während die großen 7,5-Zoll-LED-Displays eine klare Bildbearbeitungsschnittstelle zur einfachen Erkennung von Fehlern bieten. NSX 3DI AXI/ UltraPort5 ist eine ideale Kombination aus modernster Technologie und intuitivem Design für die Masken- und Waferinspektion. Es ist in der Lage, winzige Fehler mit beispielloser Genauigkeit zu erkennen, während sein modularer Aufbau und seine intuitive Benutzeroberfläche dieses System nicht nur einfach zu bedienen und zu warten, sondern auch sehr kostengünstig machen.