Gebraucht RUDOLPH / AUGUST NSX 90 #9150909 zu verkaufen

RUDOLPH / AUGUST NSX 90
ID: 9150909
Weinlese: 2006
Automated defect inspection system 2006 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 90 Mask & Wafer Inspection Equipment ist ein Hochgeschwindigkeitssystem zur Inspektion von Masken oder Wafern. Es ist in der Lage, bis zu 90Wafer in 23 Sekunden in einem einzigen Hub zu inspizieren und bietet einen hohen Produktions- und Durchsatz. Das Gerät bietet maximal drei Bewegungsachsen: Y-Achse und X-Achse sowie einen Drehneigungs-Scanner (ST). Mit der Y-Achse wird die Probe in eine geeignete Prüfposition gebracht. Die X-Achse dient zur passiven Ausrichtung relativ zum Teil. Der Spin-Tilt-Scanner dient zur Inspektionsorientierung und zur Gewährleistung einheitlicher Lichtverhältnisse. Die Inspektionsmaschine ist eine volldigitale Maschine und enthält fortgeschrittene optische Komponenten. Es bietet eine optische Inspektionsauflösung von 20nm und eine 3D-Wiederholbarkeit von ± 2 μ m. Die Kamera ist für hohen Durchsatz und hohe Genauigkeit der Bildgebung ausgelegt. Die Hochleistungsbeleuchtung bietet sowohl koaxiale als auch nicht-koaxiale Beleuchtung in verschiedenen Winkeln, um optimale Bilddetails zu erfassen. Das Inspektionswerkzeug ist mit einem hochmodernen Bildverarbeitungsgerät ausgestattet. Es bietet eine schnelle Analyse von Fehlerbildern mit automatisierter Fehlerklassifizierung und schneller Fehlerinspektion. Es kann Fehler wie winzige Blasen und Risse, fehlende oder falsche Teile, verzogene oder falsch ausgerichtete Teile und Fremdkörper verschiedener Größen erkennen und identifizieren. Darüber hinaus bietet das Modell eine umfassende Analyse der Waferinspektionsdaten, einschließlich der Fehlerstatistik. Darüber hinaus verfügt AUGUST NSX 90 Mask & Wafer Inspection Equipment auch über zusätzliche Funktionen wie kontinuierliche Inspektion, Mustergrößenanpassung und Chargengrößenanpassung, die eine erhöhte Produktivität und Qualitätskontrolle ermöglichen. Weitere Merkmale wie adaptives Scannen, Multi-Fokus-Inspektion, Auftragsbelastung und so weiter erhöhen die betriebliche Flexibilität des Inspektionssystems.
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